真空計コントローラー

VGC094

真空制御のためのモジュール式オールインソリューション

ドロップインオプション

バキュームゲージに革命を起こしましょう！

VGC094は真空プロセス計測、コントロール、データログのための一流のソリューションです。INFICONの幅広いパッシブゲージと互換性のあるVGC094は、1×10^-11から1000mbarまでの真空圧力範囲全体を監視することができます。VGC094は2組の計測ボードで最大4つのパッシブゲージヘッド（ピラニゲージ、倒立マグネトロンゲージ）をコントロールするようにユーザー設定できます。コントローラは、最新のデジタル通信インターフェース（USB、RS485、イーサネット）を提供し、個々のインターフェースボード（PROFIBUS、PROFINET）により、ユーザー固有の通信規格にカスタマイズできます。VGC094は、長距離、高温、高電離放射線被曝など、性能要求の厳しいアプリケーションに最適なソリューションです。

メリット

1×10^-11から1000mbarまでの真空モニタリングとコントロールモニター用の完全なソリューション
明るくクリアな画面
セットポイントまたは圧力対時間のバーグラフ表示
パラメータ、センサー、一般設定のための直感的なメニューによるシンプルなセンサー操作
USBポート（背面）およびUSBフラッシュドライブ（前面）によるデータおよびパラメータのログ機能
高分解能16ビットA/Dコンバーター
4つのプログラム可能な0～10Vチャートレコーダー出力
ヒステリシス調整可能な各チャンネル4つの自由設定可能なセットポイント
RS485、イーサネット、オプションでRS232、フィールドバス通信インターフェース

ピラニゲージ

PSG010

PSG017

PSG018

圧力範囲	8×10^-4 … 1000 mbar

フィードスルー｜内部シール	ガラス｜エラストマー（FPM）

ベークアウト温度範囲	≤100°C

電離放射線耐性	-

特徴	タングステン（W）フィラメント

圧力範囲	8×10^-4 … 1000 mbar

フィードスルー｜内部シール	AI₂O₃ セラミック｜金属

ベークアウト温度範囲	≤250°C

電離放射線耐性	10⁶ Gy

特徴	ニッケル（Ni）フィラメント、耐食性

圧力範囲	8×10^-4 … 1000 mbar

フィードスルー｜内部シール	AI₂O₃ セラミック｜金属

ベークアウト温度範囲	≤250°C

電離放射線耐性	10⁶ Gy

特徴	タングステン（W）フィラメント

逆マグネトロン型冷陰極ゲージ

MAG050

MAG060

MAG070

MAG084

圧力範囲	2×10^-9 mbar to 5×10^-3 mbar

フィードスルー｜内部シール	AI₂O₃ セラミック｜エラストマー（FPM）

ベークアウト温度範囲	≤150°C

電離放射線耐性	-

磁場耐性	-

特徴	同軸コネクタ

圧力範囲	1×10^-10 mbar to 5×10^-3 mbar

フィードスルー｜内部シール	AI₂O₃ セラミック｜金属

ベークアウト温度範囲	≤250°C

電離放射線耐性	10⁷ Gy

磁場耐性	-

特徴	同軸コネクタ

圧力範囲	1×10^-11 mbar to 5×10^-3 mbar

フィードスルー｜内部シール	AI₂O₃ セラミック｜金属

ベークアウト温度範囲	≤250°C

電離放射線耐性	10⁷ Gy

磁場耐性	-

特徴	三軸コネクタ

圧力範囲	1×10^-8 mbar to 5×10^-3 mbar

フィードスルー｜内部シール	AI₂O₃ セラミック｜金属

ベークアウト温度範囲	≤230°C

電離放射線耐性	10⁷ Gy

磁場耐性
アキシャル	≤280 mT
ラジアル	≤180 mT

特徴	二重イオン化室の原理同軸コネクタ

パネル

VGC094 Back

測定構成

スロットA + B

スロットC

ボードタイプ

ダブルピラニ測定ボード（PI 300 D、DN、DL）

ダブル冷陰極測定ボード（PE 300 DC9）

ピラニ＋冷陰極コンビネーション測定ボード（CP 300 C9、C10、T11、T11L）

ボードタイプ

インターフェイスボード

if 300 a、b、c、p、if301 p、if 500 pn

測定ボード - Pirani

PI 300 D

PI 300 DN

PI 300 DL

測定チャンネル	ダブルピラーニ（2センサー）

ゲージタイプ	PSG010 / PSG018

最大動作距離
ピラーニ	≤100 m
冷陰極	-

測定チャンネル	ダブルピラーニ（2センサー）

ゲージタイプ	PSG017

最大動作距離
ピラーニ	≤100 m
冷陰極	-

測定チャンネル	ダブルピラーニ（2センサー）

ゲージタイプ	PSG010 / PSG018

最大動作距離
ピラーニ	≤500 m
冷陰極	-

測定ボード - 冷陰極

PE 300 DC9

測定チャンネル	ダブル冷陰極（2センサー）

ゲージタイプ	MAG050 / MAG060

最大動作距離	-
ピラーニ	-
冷陰極	≤100 m¹⁾
¹⁾ ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 低い測定レンジを使用する場合

測定ボード - ピラニ/冷陰極コンビネーション

CP 300 C9

CP 300 C10

CP 300 T11

CP 300 T11L

測定チャンネル	ピラニ＋冷陰極コンビ

ゲージタイプ	PSG010 or PSG018 MAG050 or MAG60 or MAG084

最大動作距離
ピラーニ	≤100 m
冷陰極	≤100 m ¹⁾
¹⁾≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 低い測定レンジを使用する場合

測定チャンネル	ピラニ＋冷陰極コンビ

ゲージタイプ	PSG010 or PSG018 MAG050 or MAG60

最大動作距離
ピラーニ	≤100 m
冷陰極	≤100 m ¹⁾
¹⁾≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 低い測定レンジを使用する場合

測定チャンネル	ピラニ＋冷陰極コンビ

ゲージタイプ	PSG010 or PSG018 MAG070

最大動作距離
ピラーニ	≤100 m
冷陰極	≤500 m

測定チャンネル	ピラニ＋冷陰極コンビ

ゲージタイプ	PSG010 or PSG018 MAG070

最大動作距離
ピラーニ	≤500 m
冷陰極	≤500 m

PI 300 D DN DL

PE 300 DC9

CP 300 C9-C10

CP 300 T11-T11L

インターフェースボード

IF 300 A

IF 300 B

IF 300 C

IF 300 P

IF 301 P

IF 500 PN

通信プロトコル

RS232Cインターフェースおよびリレー（1.5 A）

通信プロトコル

RS232インターフェースおよびリレー（4.0 A）

通信プロトコル

RS422インターフェースおよびリレー（1.5 A）

通信プロトコル

PROFIBUSインターフェースおよびリレー（1.5 A）

通信プロトコル

PROFIBUSインターフェースおよびソリッドステートリレー（0.5 A）

通信プロトコル

PROFINET インターフェース

IF 300 A - C

IF 300 B

IF 300 P

IF 301 P

IF 500 PN

仕様

VGC094

測定チャンネル	4
ディスプレイ	LCD、LEDバックライト
測定率	100 s^-1
表示レート	10 s^-1
測定範囲	1 x 10^-11 ... 1000 mbar
測定単位（選択可能）	mbar、Torr、hPa、ミクロン、V
プラグインボード用スロット	測定ボード2枚インターフェースボード 1枚
設定値リレー	4
エラーリレー	1
チャンネル割り当て	自由に割り当て可能
調整範囲	センサー依存
ヒステリシス	調整可能
連絡先	フローティング接点
格付け	30 V (ac) / 1.5 A
格付け	30 V (dc) / 1.5 A
コネクタ	D-sub、25ピン、メス
アナログ出力	4
レンジ	0 ... 10 V / 4 ... 20 mA
インターフェース（デジタル）	USBスレーブ、マスター、RS485、イーサネット、USBタイプA（フラッシュドライブ）、 USBタイプB、M12 5ピンFCC68/RJ45
電源	100 ... 240 V (ac)
頻度	50 ... 60 Hz
動作温度	+5 ... +50°C

品番

アクセサリー

398-401

VGC094 真空計コントローラ

	PSG010 80℃用ケーブルケーブルコネクタアンフェノール / アンフェノール
BG548402-T	3メートル（9.9フィート）
BG548403-T	6メートル（19.8フィート）
BG548450-T	10メートル（33フィート）
BG548451-T	15メートル（49フィート）

	PSG017/018 80℃用ケーブルケーブルコネクタアンフェノール / プッシュプルセルフラッチ
BG548308-T	3メートル（9.9フィート）
BG548309-T	6メートル（19.8フィート）
BG548456-T	10メートル（33フィート）
BG548457-T	15メートル（49フィート）

	PSG017/018 250℃用ケーブルケーブルコネクタアンフェノール / プッシュプルセルフラッチ
BG548414-T	3メートル（9.9フィート）
BG548465-T	6メートル（19.8フィート）
BG448047-T	10メートル（33フィート）
BG448043-T	15メートル（49フィート）

	PSG010/017/018 用延長ケーブル 80°C ケーブルコネクタアンフェノール / アンフェノール
BG548466-T	10メートル（33フィート）
BG548468-T	20メートル（65フィート）
BG548470-T	30メートル（99フィート）

	MAG050/060/084 用ケーブル 80°C ケーブルコネクタバヨネット、SHV / SHV
BG548406-T	3メートル（9.9フィート）
BG548407-T	6メートル（19.8フィート）
BG548419-T	10メートル（33フィート）
BG548483-T	15メートル（49フィート）

	MAG050/060/084 250℃用ケーブルケーブルコネクタバヨネット、SHV / SHV
BG548542-T	3メートル（9.9フィート）
BG548543-T	6メートル（19.8フィート）
BG448045-T	10メートル（33フィート）
BG548989-T	15メートル（49フィート）

	MAG070 80°C用ケーブルケーブルコネクタープッシュプルセルフラッチ、Triax / Triax
BG548306-T	3メートル（9.9フィート）
BG548317-T	6メートル（19.8フィート）
BG548490-T	10メートル（33フィート）
BG548491-T	15メートル（49フィート）

	測定ボード
IG546920-T	ダブル・ピラニ測定ボード, PI 300 D
IG549212-T	ダブル・ピラニ測定ボード, PI 300 DL
IG549214-T	ダブル・ピラニ測定ボード, PI 300 DN
IG441375-T	ダブル・ピラニ測定ボード, PE 300 DC9
IG441000-T	ピラニ/冷陰極測定ボード, CP 300 C9
IG441114-T	ピラニ/冷陰極測定ボード, CP 300 C10
IG441080-T	ピラニ/冷陰極測定ボード, CP 300 T11
IG441120-T	ピラニ/冷陰極測定ボード, CP 300 T11L

	インターフェースボード
IG441130-T	インターフェースとリレーボード, IF300A RS232C
IG441250-T	インターフェースとリレーボード, IF300B RS232
IG441390-T	インターフェースとリレーボード, IF300C RS422
IG441395-T	インターフェースとリレーボード, IF300P PROFIBUS
IG441396-T	インターフェースとリレーボード, IF301P PROFIBUS semi relay
398-421	インターフェースボード、IF500 PROFINET

	ピラニゲージ
350-400	PSG010 DN 10 ISO-KF
350-430	PSG017 DN 16 ISO-KF
350-431	PSG017 DN 16 CF-F
350-420	PSG018 DN 16 ISO-KF
350-424	PSG018 DN 16 CF-F
350-423	PSG018 DN 40 CF-F

	冷陰極ゲージ
399-840	MAG050 DN 25 ISO-KF
399-841	MAG050 DN 40 ISO-KF
399-842	MAG050 DN 40 CF-F
399-845	MAG060 DN 40 ISO-KF
399-846	MAG060 DN 40 CF-F
399-847	MAG070 DN 40 ISO-KF
399-848	MAG070 DN 40 CF-F
399-849	MAG084 DN 40 ISO-KF
399-850	MAG084 DN 40 CF-F