50 年以上にわたる工業用質量分析

工業用質量分析分野で50年以上の経験を有するINFICONは、深い技術的専門知識と長年のイノベーションの伝統を誇りに思っております。この道のりは、エンジニアリングの卓越性と、リヒテンシュタインのバルツァースAGで元主任電気エンジニアを務めたディプロム・エル・インゲンieur ETHZ レモ・ヴォルゲサンクのような先駆者の精神によって形作られてきました。彼は1970年代に世界で初めてデジタル制御式四重極質量分析計の開発を主導しました。彼と彼のチームの画期的な貢献がなければ、現在の質量分析計は存在しなかったでしょう。

数十年にわたる開発を振り返り、これらの成果を称えたいと思います。最近、私たちはレモ・ヴォルグサン氏と、現在では半導体製造から月探査、火山活動監視まで幅広い分野で重要な役割を果たす産業用質量分析計の初期についてお話しする機会を得ました。

このイノベーションのルーツは、リヒテンシュタインを拠点とする真空蒸着技術における先駆的企業であるLeybold INFICONとBalzers AGに遡ります。時が経つにつれ、バルツァースAGは再編を繰り返し、その計測機器事業の一部はINFICONに分離されました。私たちはこの遺産を誇りを持って継承し、複雑なセンサーと測定システムの産業化に特化しています。

1967年にバルツァースAGが初めて四重極質量分析計を発売してから、現在のINFICONのAI搭載スマートセンサーまで、私たちは多様な産業において精密なガス分析を可能にしてきました。システム統合の堅固な基盤とイノベーションへの明確なコミットメントを基盤に、当社は質量分析を重要なアプリケーションにおいてよりアクセスしやすく、信頼性が高く、影響力のある技術として普及させる上で重要な役割を果たしてきました。Vogelsang氏との対話は、機器開発の画期的な時代を浮き彫りにし、質量分析の初期から現在までの道のりを再認識させるものです。

1972年、レモ・フォーゲルザングは、電子機器が急速な変革期を迎えていた当時、バルザースAGに入社しました。真空管が半導体へと置き換えられ、集積回路が小型化と高性能化の可能性を開いていました。真空管ベースのシステムで訓練を受けたフォーゲルザングは、この変革の真っ只中に身を置きました。

ハンス・ペーター・エグリと共に、フォーゲルザングはQMG 511の核心開発チームを構成しました。彼らの目標は、成功を収めたQMG 300モデルを、より高性能で量産可能な装置に進化させることでした。チームは、新しいアナライザーを開発していた物理学者のDr. Huber、Dr. Rettinghaus、Dr. Selhoferと密接に協力し、マーケティングの専門家であるCarlo HofmannやDr. Clinckemaillieとも連携して、装置が実際の産業ニーズを満たすように努めました。

当社は、質量分析分野におけるグローバルリーダーとして誇りを持っています。当社の技術は、世界中の半導体メーカー（ツールメーカーおよびチップメーカー）から信頼されています。アジア、ヨーロッパ、米国にある最先端のファブでは、当社の質量分析計が毎日使用され、プロセス制御、トレースガス検出、汚染分析を最高水準の精度で実現しています。

このすべては、世界初の産業用質量分析装置であるQMG 511から始まりました。以来、当社の各世代製品は常に最先端の基準を確立し、半導体メーカーが技術と信頼性の限界を突破するのを支援してきました。

しかし、当社のイノベーションは半導体だけに留まりません。当社は、EV（電気自動車）と消費者向けバッテリーの漏洩検出分野でもリーダーシップを発揮し、電気自動車、スマートフォン、その他の重要なデバイスにおける安全性と性能を確保しています。当社のHAPSITEモバイルラボは、緊急対応、環境保護、軍事用途向けに、迅速な現場での化学分析を提供しています。

過去50年間、四重極質量分析装置の開発は、継続的な技術進歩によって特徴づけられてきました。以下の年表では、初期のプロトタイプから今日のスマートで接続可能なプラットフォームに至るまで、当社の装置の進化における重要なマイルストーンをご紹介します。

困難で厳しい環境でのソリューションをお探しの方、または私たちのプロジェクトで共に取り組みたいお考えの方は、ぜひご一報ください。