センサー&フィードスルー

RSH-600 回転式センサー

要求の厳しい用途で水晶振動子の優れた性能を発揮

RSH-600-Rotary-Sensor
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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RSH-600回転式センサヘッドは、非常に厚い膜と複数の異なる材料を使用する、要求の厳しいプロセス用に設計されています。RSH-600は、熱シールドされ、水冷却された格納スペース内に6つの振動子を入れることができ、300°Cまでの温度環境で振動子に優れた性能を発揮させます。振動子は取り出しやすい、Teflon®とステンレススチールの振動子ホルダに格納されます。

機能

  • 6つの振動子
  • ポジションフィードバック(コントローラーに依存)
  • 長さ調節可能(オプションのフランジによる)
  • 堅牢な設計

仕様

振動子数6
設置口径50.8 mm (2.0 in.) diameter
動作温度(冷却水あり)300° C max with stainless steel head cover
400° C max with copper head cover
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
アクセサリー
消耗品
スペアパーツ
Part NumberDescription
153202Adjustable flange
153204Crystal Retainer Assembly, Flat
153204-2Crystal Retainer Assembly, Angled
153731RSH-600 Sensor Head Cover, Copper, Flat
153731-2RSH-600 Sensor Head Cover, Copper, Angled
153708RSH-600 Sensor Head Cover, Stainless Steel, Flat
153713RSH-600 Sensor Head Cover, Stainless Steel, Angled
NameDescription
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
Part NumberDescription
153706Spring Retainer assembly Flat
15370724 VDC Solenoid valve assembly
153709Retaining Screw for Flat crystal retainer
153710Crystal Holder Flat (includes 153709)
153714Spring Retainer Assembly, Angled,RSH-600
153715Retainer Screw for angled crystal retainer
153716Crystal Holder, Angled, RSH-600
153722Signal/Ground Contact Module, RSH-600
153724Spring retainer contact kit - Flat (set of six)
153726Crystal Contact for Crystal Retainer Assembly
8891287 pin male connector
889128-27-pin Female Connector
144-101M3x6 SOC Head Screw for Flat Crystal Retainer
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