センサー&フィードスルー

CrystalSix® センサー

CrystalSix-Sensor
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONのCrystalSixセンサは、連続定格コントロールを要する長いプロセスに不可欠です。OLED、MBE、太陽電力、長いオプティカルコーティングやその他の、チャンバーベント間に長い時間が開くプロセスであっても、CrystalSixセンサーは、6つの水晶モニター振動子がひとつのセンサーヘッドにまとめられており、安全です。INFICONの薄膜コントローラーと一緒に使用した場合、CrystalSixセンサーは、使用中の振動子が故障したり、不安定になったりしても、自動的に新しい振動子を位置に回転させます。振動子はプロセスを中断させることなく自動的に交換されるため、継続して蒸着速度を監視できます。

振動子インデクシングは圧空式操作によって実行されます。この空気式モーターは、真空内に置かれ、熱を発生する高価な電気モーターを使用する競合ユニットよりも、振動子の熱安定性が優っています。8分の1インチの水冷却チュ―ブが、センサーヘッドの熱安定性を保ち、センサーの配置をより柔軟にします。

特定のINFICONの薄膜コントローラーとともに使えば、センサーは、どの位置でどの材料が使えるかについての、蒸着フィードバックを送ることができます。

機能

  • 6基の振動子を装着し、安定した自動切り替えによりプロセスアップタイムを最大化
  • 振動子の切り替えは圧空で操作されるため、振動子の温度が安定(他社製品は発熱するモーターを使用)
  • 1/8インチチューブが熱安定性を維持し、柔軟なセンサー交換を可能にする
  • オプションで振動シャッターもあり

仕様

水なしでの最高ベークアウト温度130°C
最小水流での最大動作等温環境温度400° C
振動子交換Front-loading, extraction tool required (supplied with unit)
水および空気チューブS-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

Part NumberDescription
750-446-G1CrystalSix sensor (sensor only, no feedthrough included)
アクセサリー
消耗品
スペアパーツ
NameDescription
QCM Sensor FeedthroughsQCM Sensor Feedthroughs
NameDescription
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
Part NumberDescription
007-007Retainer spring (for crystal holder)
007-023Ceramic Retainer
070-0170#2 Lockwasher (part of heat shield assembly)
070-0398Retaining ring (secures bearing located next to pawl and actuator stem)
070-0777Compression spring (on carousel shaft)
070-0778Ball bearing (underneath carousel)
070-0779Ball bearing
070-0870Teflon washer (on carousel shaft)
070-0877Shim spacer (part of heat shield assembly)
070-0879Bearing (at center of top plate weld assembly)
073-114Wire .022 in. x 1.06 in (clamps heat shield retaining pin)
082-026# 2-56 Nut (part of heat shield assembly)
750-048-P1Retainer spring for 007-048 and 751-619-G1 sputtering head bodies
750-175-P1Insulator (underneath leaf spring)
750-188-P3Leaf Spring
750-249-P2Retaining pin (part of heat shield assembly)
750-250-G1Deposition Shield, CrystalSix Sensor
750-256-P2Extension spring
750-257-P3Corrugated spring 4.40 in. (11.2 cm)
750-261-G1Carousel assembly (includes resistor network and electrical contacts)
750-262-G1Crystal holder
750-265-G1Top plate weld assembly
750-276-P2Actuator cover
750-278-P2Water line
750-286-P2Pneumatic actuator
750-290-P3Carousel electrical contacts (set of eight)
750-901-G1Crystal 6 Kit
750-293-P2Ratchet
750-294-P2Stop ratchet
750-295-G1Pawl and actuator
750-336-G1Resistor network assembly
750-338-P1Contact insulator (underneath carousel electrical contacts)
In-vacuum cables 
321-039-G12In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.)
007-252In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.)
321-039-G11In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.)
007-044In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.)
007-059In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.)
007-061In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G13In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G14In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G15In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU
321-039-G16In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU
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