ヘリウムリークディテクター

UL3000 Fab Series

UL3000 Fab /UL3000 Fab ULTRA

ULTRATEST ™センサー技術搭載モバイルヘリウムリークディテクター

ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

ウェビナー参加はこちらから

移動式ヘリウムリークディテクター：半導体アプリケーションにおけるリークチェックのニーズに合わせて特別に設計されています。

柔軟性、機動性、高速起動、高感度、高速かつ高精度なテスト結果、信頼性を特徴としています。

エアポンプスピードが速いため、ポンプ停止（排気）時間が短縮されます。
低メンテナンスのルーツラフティングポンプにより、総所有コスト（TCO）が削減されます。
HYDRO-Sソフトウェアが水蒸気バックグラウンドを除去するため、リークチェックを早期に開始し、敏感な測定範囲に素早く到達することが可能
UL3000 Fab ULTRAでは、実績あるスニファーラインSL3000（最大10m長）を使用してスニファー能力を向上させることもできます。SL3000には独立した接続ポートがあるため、真空吸入口への接続は必要ありません。

迅速な結果

低メンテナンスの真空ポンプを使用した改良型真空システムにより、大気圧からリークを検出することができます。堅牢な質量分析計システムにより、長時間の稼働と低メンテナンスコストを実現します。

回転式ディスプレイとリモートコントロール可能なユーザーインターフェイス

新しいタッチスクリーンディスプレイは、遠距離からでもテスト結果やステータス情報を表示します。ユーザーガイド付きのメニュー構造により、経験の浅いオペレーターでも簡単に操作できます。スマートフォンやタブレット端末でUL3000 Fab (ULTRA)をワイヤレスでコントロールできます。プッシュボタンで試験結果を記録・保存し、他の記憶媒体に転送してさらに分析することができます。

スリムなデザインで高い操作性を実現

低重心、大径キャスター、人間工学に基づいたハンドル、スリムな筐体により、狭い場所での移動が可能です。

SMART-Sprayでリークテストを最適化。I·BOOSTとSPRAY-Check

SMART-Spray は、大型のヘリウムボンベや煩雑なホースの必要性をなくし、リークチェックを強化します。プロセスを合理化し、手作業によるヘリウム流量調整を減らし、エラーを最小限に抑えます。このツールは、低いヘリウム消費量とバックグラウンドレベルを維持しながら、リーク検査をより速く、より簡単に、より信頼できるものにします。

効率的で正確なリーク検査に最適 I·BOOSTはリーク検査において最大50％の時間節約を実現します。より短い反応時間で、様々なチャンバー容積にわたって迅速かつ正確な測定を行い、効率と精度を高めます。さらに、スプレー式リークテストであるSPRAY-Checkは、リークディテクタの機能性と即応性を保証します。10-⁸から10-⁸mbar・l/sの範囲に最適で、テストプロセス中に信頼できるチェックを提供します。nhances leak checking by

利点

10^-9～10^-12 mbar-l/sの範囲で高速測定を行うI-CALソフトウェア・アルゴリズムで時間を短縮
高い測定感度を維持しながら、バックグラウンドの高速抑制のために改良されたインテリジェント機能を持つI-ZERO 2.0を使用した最も効率的なリークチェック
真空およびスニファーリークサーチに適用可能
素早い排気と応答時間によりリークチェック作業を最低限に抑制
スリムなデザインによる簡単な操作性で時間を節約
堅牢なイオンソース（3年保証）とカウンターフロー真空システムによって可能になった低い総所有コスト（TCO）
フルカラー高解像度回転式ディスプレイによる
使いやすい操作ガイド付きHMI
UL3000 Fab ULTRA:UL3000 Fab ULTRA：ルーツポンプの高いエアポンプスピードにより、より速いポンプダウン（排気）時間
UL3000 Fab ULTRA：低メンテナンスのルーツラフィングポンプにより、低い総所有コスト（TCO）を実現します。
UL3000 Fab ULTRA：リークディテクターは、定評あるスニファーラインSL3000（長さ10mまで）を使用することによって、スニファー能力も向上しています。SL3000は独立した接続ポートを備えているため、真空吸入口への接続は不要です。

標準的なアプリケーション

半導体工場
フラットパネルディスプレイ製造
太陽電池製造
ガラス・ウェブ（Roll to Roll）コーティング
一般的な真空コーティングとアプリケーション

仕様

UL3000 Fab

UL3000 Fab ULTRA

粗引きポンプの最高送液速度	m³/h	>30
ヘリウム排気速度（高感度モード ULTRA）	L/s	4
外形寸法図（LxWxH）	mm in.	1050x472x987 42x21x34
その他の機能	最高速の空気ポンプ、HYDRO-S、SL3000用スニッファラインポート、バキュームホースホルダー

粗引きポンプの最高送液速度	m³/h	>36
ヘリウム排気速度（高感度モード ULTRA）	L/s	4
外形寸法図（LxWxH）	mm in.	1050x472x987 42x21x34
その他の機能	最高速の空気ポンプ、HYDRO-S、SL3000用スニッファラインポート、バキュームホースホルダー

ご注文について

品番

アクセサリー

消耗品

550-260	UL3000 Fab ULTRA
550-200	UL3000 Fab

551-050	SMART-Spray ***NEW
551-600	I·BOOST software license***NEW
551-031	SPRAY-Check TL8***NEW
551-010	リモコンRC1000C、有線、4mコイルケーブル付き
551-202	UL3000 Fab用バキュームホルダー（ULTRAバージョンも含む）
525-001	SL3000-3、スニファーライン長3m
525-002	SL3000-5、スニッファーライン長5m
525-003	SL3000-10、スニッファーライン長10m
551-203	SL3000用ブラケット
551-210	SL200、スニファー・ライン＋UL3000用エル・エクステンション
551-201	ヘリウム・ボトル・ホルダー
560-310	I/O 1000モジュール
560-315	BM1000 PROFIBUSモジュール
560-316	BM1000 PROFINET IOモジュール
560-317	BM1000 DeviceNet モジュール
560-318	BM1000 Ethernet/IP モジュール
560-334	IO1000、BM1000用データケーブル、0.5m
560-332	データケーブル 2 m
560-335	データケーブル 5 m
560-340	データケーブル 10 m
551-005	TC1000テストチャンバー、DN25KF、ESDリストバンド
551-205	TC1000/SL200、UL3000用延長ケーブル