真空計

製品タイプ
全圧計 バキュームスイッチ バキュームゲージコントローラー
測定範囲(mbar)
1 E-5 … atm 1 E-9 … 1 E-3 1 E-9 … atm
精度(%)
< 0.05 0.05 - 0.2 > 0.2 - 1 > 1 - 5 > 5 - 15 > 15
デジタルインターフェース
EtherCAT Profinet DeviceNet Profibus DP Ethernet
市場
HVAC/R 産業用製造業 真空成膜 セキュリティ エネルギー 半導体IDM&ファウンドリ 半導体装置メーカー ディスプレイ 製薬・メディカル モビリティ&オートモーティブ 研究・アカデミア 分析機器 バッテリー
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