質量分析計

Transpector® MPH

歩留まりを向上させ、アップタイムを最大化する、比類のないパフォーマンス

シリコンウェハの価格と、最終製品への要求は上昇し続けているので、廃棄されるウェハのコストはこれまでになく高くつくようになっています。それで、プロセスを理解し、欠陥をモニタリングすることは、半導体製造センターにおいてますます優先度が高くなっています。Transpector MPHガス分析システムは、ガス分析アプリケーションすべてに対し、業界をリードするパフォーマンスによって、プロセスの問題を除去し、チップの歩留まりを最大化して、ツールのダウンタイムを最小限にします。総所有コストが少なくなり、平均故障間隔が長くなるため、Transpector MPHは、市場のどの残留ガス分析器(RGA) よりも、最終的な収益を高くすることができます。

INFICONでは、ガス分析プロセスコントロール装置における専門知識を活用して、業界トップのデータ収集速度を持ち、検出可能な最小粒子圧力が小さく、S/N比の優れたRGAを開発しました。このすべてを、INFICON Transpectorガス分析器に期待できる信頼性を少しも損なうことなく達成したのです。

機能

アナログスキャンおよび選択ピーク時の最速データ取得時間1.8 ms
TCP/IPイーサーネット接続
デュアルフィラメント
現場で交換可能な光電子増倍管
陽極、陰極およびリペラーフィラメントをまとめたキット
短いセンサーにより設置フットプリントを最小化
9桁のダイナミックレンジ
< 2E-15 Torr (100 amu)のMDPP
S/N比の向上
交換可能なセンサーと電子回路
センサーはクリーンルーム環境で組み立て、試験が行われ、二重の袋に入れられている
RoHSコンプライアント

仕様

MPH100M

MPH100F

MPH200M

MPH200F

MPH300M

MPH300F

質量範囲	100 amu

検出可能な最小粒子圧力	2E-15 Torr

感度 (FC)

感度 (EM)

最大動作圧力	5E-4 Torr

質量範囲	100 amu

検出可能な最小粒子圧力	3E-13 Torr

感度 (FC)	6E-4 A/Torr

感度 (EM)	NA

最大動作圧力	5E-4 Torr

質量範囲	200 amu

検出可能な最小粒子圧力	3E-15 Torr

感度 (FC)	5E-4 A/Torr

感度 (EM)	500 A/Torr

最大動作圧力	5E-4 Torr

質量範囲	200 amu

検出可能な最小粒子圧力	4E-13 Torr

感度 (FC)	5E-4 A/Torr

感度 (EM)	NA

最大動作圧力	5E-4 Torr

質量範囲	300 amu

検出可能な最小粒子圧力	4E-15 Torr

感度 (FC)	4E-4 A/Torr

感度 (EM)	250 A/Torr

最大動作圧力	5E-4 Torr

質量範囲	300 amu

検出可能な最小粒子圧力	5E-13 Torr

感度 (FC)	4E-4 A/Torr

感度 (EM)	NA

最大動作圧力	5E-4 Torr

アクセサリー

961-021-G1	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
600-1190-P8	Ethernet 7m cable
600-1190-P15	Ethernet 15m cable
600-1428-P1	Power Supply Extension Cable- 15 ft (4.5m)
600-1429-P1	Power Supply Extension Cable - 30 ft (9m)
961-417-G1	Ethernet Router 4 port with Push Button Wi-Fi
961-418-G1	Ethernet Switch 8 port
961-702-G1	Pirani Interlock Kit
914-024-G1	Angle Valve Kit, Manual (includes heater)
914-026-G1	MPH Angle Valve Kit, Electropneumatic 24 V(DC) (includes heater)
961-029-G1	MPH Heater Kit 120 VAC
961-029-G2	MPH Heater Kit 230 VAC

ユニバーサル・スペアパーツ

消耗品

961-416-P1	Spare MPH Heating Jacket
914-407-P1	Spare Valve Heating Jacket (required heater power cable if stand alone)
600-1117-P1	Spare Heater Power Cable 120 VAC
600-1117-P2	Spare Heater Power Cable 230 VAC
914-410-P1	Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1	Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2	MPH Extension Kit
961-205-G2	MPH HPR Extension Kit
961-022-G1	Spare O-Ring and Nut Kit
074-5007-G1	Gas Analysis Product Manuals CD

961-700-G1	Coated Iridium Filament Kit
961-700-G2	Tungsten Filament Kit
961-701-G1	Coated Iridium Filament Ion Source
961-701-G2	Tungsten Filament Ion Source
961-2428-G2	Electron Multiplier Replacement Kit

スペアパーツ