質量分析計

トランスペクター® APX ALD 単圧

単一圧力ALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート

Transpector APX ALD Single Pressure
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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不良品率の最小化、歩留まりの最大化をリアルタイムで実現

INFICONのTranspector APXは半導体とディスプレイプロセス監視のための、市場をリードする残留ガス分析器(RGA)です。当社は半導体、液晶パネル関連のお客様ニーズを熟知しており、Transpector APXの最新製品は、業界をリードする計測速度と感度を維持しながら、特定のアプリケーションの要求に応える仕様、柔軟性を持ち合わせています。Transpector APXはALD、CVD、PVD、エッチングなどの半導体プロセスに理想的なRGAプロセスモニターです。

次世代のTranspector APX ALDシングルプレッシャーインレットシステムは、ALDやPECVDのようなパーティクルやコーティングが発生しやすいプロセス化合物に耐えられる様に設計されています。これにより、すべての重要なプロセスステップでデータポイントを取得するための継続的なモニタリングが可能になります。さらにインレットは、チャンバークリーンエンドポイントモニタリングアプリケーションに不可欠な腐食性ガスに対する耐性のために温度制御されています。

メリット

  • アプリケーションに特化したプラットフォーム設計により、ALDまたはCVDプロセスで最長のライフタイムを実現。
  • 毎秒550データポイント以上の測定速度でALDに対応
  • 30%工場を縮小し、高性能ポンプシステムにより設置が簡単
  • 当社独自のコーティングを施した温度コントロール注入口は、過酷な腐食性化学薬品に耐える離散圧力注入口仕様
  • 自動較正が長期的なデータの信頼性と精度を保証
  • Transpector APXはFabGuard®ソフトウェアと統合され、世界クラスのアプリケーション専門家によってサポートされる強力なプロセス監視と診断ツールです

仕様

100 AMU
200 AMU
300 AMU
総圧力範囲

5E-7 – 1E-3 Torr

6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

検出限界<10 ppb
プロセス圧力範囲

1E-8 Torr – 1.2 atm

1.3E-8 mbar – 1.2 atm

感度(低エミッション)

>4.0E-6 amps/Torr

>3E-6 amps/mbar

感度(ハイエミッション)

>2.0E-5 amps/Torr

>1.5E-5 amps/mbar

総圧力範囲

5E-7 – 1E-3 Torr

6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

検出限界<25 ppb
プロセス圧力範囲

1E-8 Torr – 1.2 atm

1.3E-8 mbar – 1.2 atm

感度(低エミッション)

>2.0E-6 amps/Torr

>1.5E-6 amps/mbar

感度(ハイエミッション)

>1.0E-5 amps/Torr

>7.6E-6 amps/mbar

総圧力範囲

5E-7 – 1E-3 Torr

6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

検出限界<50 ppb
プロセス圧力範囲

1E-8 Torr – 1.2 atm

1.3E-8 mbar – 1.2 atm

感度(低エミッション)

>1.0E-6 amps/Torr

>7.6E-7 amps/mbar

感度(ハイエミッション)

>5.0E-6 amps/Torr

>3.8E-6 amps/mbar

消耗品

品番商品説明
969-800-G1SAPX CIS Tungsten Filament Kit GOLD
969-800-G2SAPX CIS Coated Filament Kit GOLD
969-801-G1SAPX CIS Tungsten Ion Source Kit GOLD
969-801-G2SAPX CIS Tungsten Ion Source Kit with Anode Liner GOLD
969-801-G3SAPX CIS Coated Ion Source Kit GOLD
969-801-G4SAPX CIS Coated Ion Source Kit with Anode Liner GOLD
961-707-G1Electron Multiplier Replacement Kit
923-418-G2Replacement diaphragm kit for 2-stage pump

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