3. 气体分析

气体分析

技术
质谱分析法 光学光谱学
过程
PVD CVD化学气相沉积 ALD原子层淀积 蚀刻 光刻
压力
< E-5 Torr > E-4 Torr 至 1E-2 Torr 1E-2 Torr 到 1 Torr > 1 Torr
检测极限
1-10 ppm < 1 ppm < 10 ppb
市场
暖通空调/制冷 工业制造 真空镀膜 安全 能源 半导体IDM和晶圆代工厂 半导体设备制造商 显示 医药和医疗 移动和汽车 研究与学术界 分析仪器 电池
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