Metrology Sampling Optimizer

종합적인 계측 샘플링이 없는 일반적인 팹에서는 팩토리의 샘플링 측정이 과잉인지 과소인지 알 수 없습니다. 오버 샘플링은 생산 시간을 낭비하고 언더 샘플링은 불량품 위험을 증가시킵니다.

계측 샘플링 옵티마이저(MSO)는 실시간 데이터와 팩토리 조건을 사용하여 무엇을 측정할지 결정하여 불량품을 최소화하고 측정 용량을 최적화합니다. MSO는 위험에 처한 로트를 30% 감소시킨 것으로 입증되었습니다.

MSO는 실질적인 제약 조건과 실시간 정보를 활용하는 사용자 정의 규칙을 활용하여 제품을 언제, 무엇을 측정할지 결정합니다. 샘플링 계획은 실시간으로 업데이트되어 전체 시설에 대한 샘플링을 관리함으로써 시설의 동적 조건 속에서 지속적으로 관련성 있는 결과를 보장합니다.

레거시 샘플링 시스템은 규칙을 개별적으로 적용하고 중요한 도구 이벤트와 변화하는 공장 조건에 적응하지 못한다는 한계가 있습니다. 이로 인해 일부 제품은 샘플링이 과도하게 이루어지고 다른 제품은 샘플링이 부족하여 사이클 시간과 제품 위험이 증가합니다.

MSO는 규칙이 샘플링을 트리거할 때마다 모든 관련 규칙을 평가하여 샘플링을 최소화합니다. 동일한 자료를 샘플링하여 지워지는 모든 관련 규칙은 아직 기한이 지나지 않았더라도 재설정됩니다.

예시: 
동일한 제품 측정에 사진 및 에칭에 대한 두 가지 샘플링 규칙이 적용되고 에칭 규칙이 기한이 되면 계측 샘플링 최적화 도구는 동일한 로트가 실행된 특정 스캐너에 대한 사진 규칙도 모든 적절한 규칙 기준을 충족한다고 가정하여 충족된 것으로 간주하며, 그 반대의 경우도 마찬가지입니다. 샘플링 계획이 충족되고 새로운 측정이 기록될 때마다 메트릭이 실시간으로 업데이트됩니다.

계측 샘플링 옵티마이저는 통합 기능을 제공하여 공정 중 작업 스케줄을 최적화하고 탁월한 출장 관리를 제공합니다. 스케줄링 시스템과의 통합을 통해 MSO는 측정 샘플링을 통해 우선순위가 높거나 차단된 자재를 최대한 신속하게 처리할 수 있습니다.

팹가드와 같은 결함 감지 시스템 또는 이탈 관리 시스템과의 통합을 통해 위험에 처한 자재를 신속하게 샘플링하여 이탈 영향을 최소화할 수 있습니다.

• 스케줄링 및 파견. WiP 관리와 협력하여 계측 사용 및 적용 범위 극대화
• 제조 실행 시스템. 계측 레시피가 있고 측정 단계가 있는 부품을 식별합니다.
• 결함 감지. FDC가 감지한 이탈 및 위험 로트 샘플을 검증합니다.
• 고급 공정 제어. 샘플링 계획을 APC 요구사항에 맞게 조정하여 APC의 수율 이점을 극대화합니다.
• 교정 및 예방적 유지보수. 시정 및 예방 유지보수 작업을 기반으로 샘플링 계획을 조정합니다.

계측 샘플링 최적화 대시보드는 계측 범위의 실시간 상태를 보여줍니다.

해석하기 쉬운 대시보드를 통해 엔지니어는 계측 및 결함 스캔 범위, 평균 이탈 감지 시간, 위험 로트 또는 기판의 수를 파악할 수 있습니다. MSO 대시보드는 커버리지, 샘플링의 현재 상태, 실시간 모니터링에 대한 가시성을 제공함으로써 엔지니어가 팩토리 샘플링 작업에 집중할 수 있도록 도와줍니다. MSO 대시보드를 통해 샘플링 및 출장 관리를 위한 즉각적인 조치를 취할 수 있습니다.

팩토리 운영을 극대화할 수 있도록 도와드리겠습니다.