FabGuard® FDC
이제 더 스마트한 제조가 필요한 때
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
팹가드®는 공정 장비, 고급 센서, IoT 장치, 게이지 및 서브팹/시설 구성 요소의 실시간 데이터를 함께 사용하여 업계에서 가장 포괄적인 결함 감지 시스템을 제공하는 광범위한 엔지니어링 툴 키트입니다.
실시간 프로세스 모니터링
인피콘의 팹가드 FDC 시스템은 데이터를 연결, 수집 및 의미 있는 정보로 변환할 수 있는 탁월한 기능을 제공합니다. 엔지니어는 이 정보를 사용하여 툴 기능 및 공정 최적화에 대한 심층적인 통찰력을 개발합니다. 입증된 FDC 기술과 함께 작동할 뿐만 아니라 SmartFDC®의 강력한 비지도 머신 러닝을 통해 팹가드는 변경 사항이 발생할 때 자동으로 감지할 수 있습니다.
장점
- 프로세스 장비와 센서 데이터의 원활한 통합
- 엣지 컴퓨팅
- 온프레미스 또는 클라우드 기반
- 실시간 및 런바이런 분석
- 센서, 게이지, IoT/ IIoT, 프로세스 도구에 대한 세계적 수준의 연결성
- 자동 머신 러닝
스마트 프로세스 모니터링
팹가드는 엔지니어가 다양한 센서, 게이지, 시설 및 기타 장치에서 데이터를 수집하여 업계에서 가장 포괄적인 공정 장비 보기를 개발할 수 있는 스마트 공정 모니터링 및 제어 시스템입니다.
- 센서 RGA, OES, RF/DC, 쿼츠 크리스탈 마이크로밸런스
- 게이지: 넓은 범위 진공, 고정밀 진공, 질량 유량, 액체 유량
- 시설 펌프, 저감, 히터, 냉각기, 화학 물질 전달
- 고속: 가속도계, 아크 감지, 고속 아날로그
적시에 올바른 데이터를 수집하는 것은 종합적인 결함 감지 기능을 구축하는 데 매우 중요하며 공정 특성화를 가능하게 합니다. 또한 팹가드의 동적 데이터 수집 기능은 도구의 대역폭을 최대화하여 수집되는 데이터의 폭을 늘립니다.
데이터 수집은 공정, 센서, 지원 구성 요소 및 툴의 요구 사항에 맞게 즉시 조정됩니다.
공장에 프로세스 경험 제공
인피콘 현장 서비스 및 소프트웨어 개발 팀은 실제 공장 문제 해결에 전념하는 숙련된 공정 및 장비 엔지니어들로 구성되어 있습니다.
인피콘은 모든 웨이퍼 직경, 평판 크기, 디바이스 형상, 기판 유형, 자동화 미실시 공장부터 완전 자동화 공장까지 다양한 분야의 전문 지식을 보유하고 있습니다.
