장거리 누설 감지에 프로세스 인텔리전스 통합

최고 수준의 안전성과 순도를 유지하기 위해 반도체 제조 시설은 배관 시스템에 대한 검사, 테스트 및 지속적인 모니터링을 병행합니다. 긴 가스 배관은 설치 또는 유지보수 후 1x10⁻⁷ mbar l/s 수준의 낮은 누설률로 테스트되어야 합니다. 가스 공급 배관의 무결성을 검증하는 기존 방법은 헬륨 누설 테스트이며, 이는 다음을 포함합니다:

1. 파이프 내부 배출
2. 외부 표면에 헬륨을 분사하다
3. 압력 차이로 인한 누설을 통해 시스템으로 유입되는 헬륨 감지

헬륨 누설 검사를 보완하여, 공정 중 실시간 가스 분석기를 사용하여 가스 순도와 압력을 지속적으로 모니터링함으로써 무결성 손실을 나타낼 수 있는 편차를 조기에 경고합니다.

이 접근법은 매우 민감하지만 배관 시스템 자체의 복잡성으로 인해 본질적으로 어려움이 따르며, 배관 길이와 직경이 증가할수록 이러한 어려움은 더욱 커집니다. 길거나 복잡한 배관 시스템에서는 헬륨이 누설 지점에서 검출기까지 이동하는 데 상당한 시간이 소요될 수 있습니다. 이로 인해 다음과 같은 문제가 발생합니다:

• 테스트 시간 증가
• 신호 반응 지연
• 공장 건설 또는 확장 시 효율성 저하

이러한 과제들은 단순히 더 나은 장비뿐만 아니라 깊은 어플리케이션 분야 전문성을 요구합니다.

전 세계 반도체 팹을 수십 년간 지원해 온 경험을 바탕으로, 인피콘은 검증된 기술과 풍부한 어플리케이션 경험을 결합하여 표준 누설 검출 성능을 향상시킵니다.
긴 가스 라인에서 기존 헬륨 스프레이 테스트의 한계를 해결하기 위해 전문가들은 헬륨 누설 검출에 제어된 캐리어 가스 유량을 통합합니다. 분당 수 표준 입방 센티미터(sccm) 수준의 매우 낮은 캐리어 가스 유량조차도 측정 효율성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 실험실 테스트 결과, ~100 sccm 수준의 유량만으로도 신호 전파 및 검출 성능을 향상시키는 데 충분한 경우가 많으며, 대량의 가스 유량이나 기본 테스트 조건 변경이 필요하지 않음이 입증되었습니다. 이 방법에서는:

• 배관 한쪽 끝에서 운반 가스(일반적으로 공기 또는 질소)를 주입합니다
• 반대쪽 끝에 누설 감지기를 연결합니다
• 누설을 통해 유입된 헬륨은 즉시 운반 가스와 혼합됩니다
• 혼합 가스는 감지기로 신속하게 운반됩니다

이 접근법은 응답 시간을 획기적으로 단축하여 길거나 복잡한 배관 시스템에서도 몇 초 내에 누설을 감지할 수 있게 합니다.

인피콘의 어플리케이션 엔지니어 안야 수토리우스는 "질소를 운반 가스로 사용하면 중요한 추가 이점을 얻을 수 있습니다"라고 설명합니다. "이는 긴 가스 라인 내부에 갇힌 잔류 헬륨의 양을 크게 줄여주며, 배경 헬륨 수준이 낮아짐에 따라 시스템은 더 깨끗한 신호, 더 높은 검출 감도, 연속 테스트 간 더 빠른 안정화, 그리고 추적 가스 이송 위험을 현저히 낮춥니다. 이러한 개선은 클린룸 환경에서 특히 가치 있는데, 여기서 헬륨의 작은 축적조차도 다른 테스트 루틴이나 민감한 공정 측정에 간섭을 일으킬 수 있기 때문입니다." 
엔지니어는 누설 테스트 시 운반 가스를 선택할 수 있어 필요 시 불활성 환경을 유지할 수 있습니다.
인피콘의 첨단 누설 테스트 방법론과 어플리케이션 전문성은 다음과 같은 측정 가능한 이점을 제공합니다:

• 긴 파이프 및 확장 시스템에 대한 누설 감지 속도 대폭 향상
• 접근이 어려운 복잡한 설비에서의 테스트 신뢰성 개선
• 백그라운드 헬륨 감소로 인한 감도 향상
• 추적 가스 사용을 최소화하여 환경적 영향을 줄입니다

인피콘은 단순한 장비 공급업체를 넘어섭니다. 우리는 반도체 산업의 장기적인 파트너로서 혁신적인 l누설 검출 솔루션, 스마트 센서, 지능형 제조 시스템을 제공하여 더 빠른 팹 가동률 향상, 안정적인 운영, 최적화된 자원 관리를 지원합니다.
세계적 수준의 계측기와 깊은 어플리케이션 전문성을 결합하여, 우리는 반도체 제조업체가 순도를 보호하고 안전을 보장하며 현재와 미래에 걸쳐 최고 성능을 유지할 수 있도록 돕습니다.