Hot Ionization Gauges
HPG400 ATM~고진공 게이지
INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10-6 mbar부터 대기(1.5×10-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다.
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INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10-6 mbar부터 대기(1.5×10-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다. HPG400은 정확한 스퍼터 공정 압력 제어를 위해 매우 반복성 높고 재현 가능한 압력 측정을 제공합니다.
장점
- HPG400은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 시스템 설치 및 설정 복잡성 감소
- 고압 고온 이온 게이지는 향상된 공정 제어를 위해 1×10-5 … 1 mbar의 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 측정 제공
- 5×10-2 ~ 1 mbar의 사용자 선택형 고온 이온 배출 활성화
- Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
- 옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
- 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
- RoHS 준수
일반적인 응용 분야
- 반도체 제조, 전자장치 및 미디어 산업의 스터퍼 분야
- 산업용 코팅
- 저진공부터 고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
사양서
| Measurement range (air, N2) | mbar Torr | 2×10-6 … 1000 1.5×10-6 … 750 |
| Accuracy | ||
| 10-5 … 1 mbar | % of reading | ±15 (1) |
| Repeatability | ||
| 10-5 … 10-1 mbar | % of reading | 2 |
| 10-1 … 100 mbar | % of reading | 30 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange | °C | 80 |
| Bakeout electronics removed | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| (1) Accuracy from 10-5 mbar to the selected hot ion emission on value | ||
Part Number
Accessories
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 353-520 | HPG400 DN 25 ISO-KF |
| 353-521 | HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-522 | HPG400 DN 40 CF-F |
| 353-523 | HPG400 LCD, DN 40 CF-F |
| 353-525 | HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-526 | HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F |
| 353-527 | HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF |
| 353-528 | HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
| Part Number | Description |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| 353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
| 357-499 | Baffle HPG (10 pieces) |
| Part Number | Description |
| 354-487 | Spare sensor head HPG400, DN 25 ISO-KF |
| 354-488 | Spare sensor head HPG400, DN 40 CF-F |
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353-520 HPG400 without LCD
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353-521 HPG400 without LCD
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353-522 HPG400 without LCD
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353-523 HPG400 with LCD
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353-525 HPG400-SP with PROFIBUS DP
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353-526 HPG with PROFIBUS DP
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353-527 HPG400-SD with DeviceNet
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353-528 HPG400-SD with DeviceNet
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354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF
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