핫 이온 게이지

BPG400

ATM~초고진공 게이지

Pirani-BAG402-BPG400-BPG402

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG400은 하나의 작은 장치에서 두 개의 게이지로 작동하여 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 ~ 대기)를 측정합니다. 결합된 기술로 설치, 설정 및 통합의 복잡성이 줄어듭니다. 하나의 경제적인 패키지에서 적정하고 반복 가능한 공정으로 기본 압력을 측정할 수 있는 BPG400을 선택하십시오.

장점

  • 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
  • 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
  • Pirani 인터록은 Bayard-Alpert 시스템의 조기 필라멘트 단선 및 고압 작동으로 인한 과도한 오염 방지
  • 수명이 긴 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
  • 옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
  • 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
  • RoHS 준수
  • 저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

일반적인 응용 분야

  • 반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
  • 산업용 코팅
  • 저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

사양서

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1000
3.8×10-10 … 750
   
Accuracy  
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange with extension°C150
Bakeout at flange without extension°C80
Bakeout electronics removed°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
전체 사양 다운로드
파트 넘버
악세사리
스페어 파트
파트 넘버설명
353-500BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502BPG400 DN 40 CF-R
353-503BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
353-507BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-508BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R
파트 넘버설명
353-511Power supply BPG400 24VDC
353-510100 mm sensor extension tube
353-512Baffle for BPG400
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
파트 넘버설명
354-490Spare sensor head BPG400, DN 25 ISO-KF
354-491Spare sensor head BPG400, DN 40 CF-R
354-498Spare electronic BPG400 without Display
354-499Spare electronic BPG400 with Display

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分析仪器

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