콜드 캐소드 게이지
측정 범위(mbar)
1 E-9 … 1 E-3
1 E-11 … 1 E-3
디지털 인터페이스
EtherCAT
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Cold Cathode Gauges
Gemini™ MxG5xx
INFICON Gemini™ 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중).
GEMINI™ MXG5XX ATM~초고진공 게이지
- Long lifetime in harsh environments
- 혹독한 환경에서 긴 수명 유지
- 낮은 누출 자계
- 유지보수 필요 없음 - 교체 가능한 부속품
Cold Cathode Gauges
MAG470
Inverted Magnetron Vacuum Gauge is for all ultra high vacuum applications, measurement range from 5x10-11 mbar
MAG470
- Measurement range down to 5x10-11 mbar
- Extended version, sensor bakeout up to 250°C
- Excellent ignition properties
- Easy to clean
Cold Cathode Gauges
MPG40X
INFICON 전환형 마그네트론 피라니 게이지인 MPG400 및 MPG401은 5 x 10-9 mbar ~ 대기(3.8 x 10-9 Torr ~ 대기)를 측정합니다.
MPG40X ATM~초고진공 게이지
- 조합 게이지 – 전환형 마그네트론 및 Pirani
- 5 x 10-9 mbar ~ 대기의 광범위한 측정 범위
- 단선될 필라멘트 없음
- 뛰어난 점화 특성
Cold Cathode Gauges
MAG050 & MAG060
INFICON 패시브 냉음극 게이지 헤드 MAG050 및 MAG060은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083C와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다.
MAG050 MAG060 냉음극 게이지 - 패시브
- 믿을 수 있고 입증된 게이지 헤드 설계
- 150°C(MAG050) 또는 250°C(MAG060)로 베이킹 가능
- 우수한 점화 특성
- 내부식성 및 세라믹 피드스루