Sensors & Feedthroughs

로우 프로파일 듀얼 센서

Easy-Rate-Dual-Sensor
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Easy Rate 듀얼 센서는 한 개의 크리스탈로 충분하지 않을 수 있는 QCM 적용개소에 간단하고 경제적인 솔루션을 제공합니다. 셔터는 프로세스를 마치는 데 필요할 때까지 두 번째 크리스털을 가려줍니다. Easy Rate 듀얼 센서는 2개의 진공 케이블을 사용하여 현장에서 쉽게 교체할 수 있습니다.

소형 디자인의 Easy Rate 듀얼 센서는 센서와 셔터 어셈블리가 표준 CF40 니플을 통과하는 데 32.5 mm(1.3인치)의 간격만 있으면 됩니다.

Easy Rate 듀얼 센서는 표준 및 직각 방향에서도 사용할 수 있고 표준 튜브 피팅이 있거나 없는 피드스루가 포함되도록 구성될 수 있습니다.

참고: Easy Rate 듀얼 센서는 4.8 mm(3/16인치) 외경의 수냉 튜브를 사용합니다.  이 센서는 Ultra-Torr 장착 피드스루와 호환되지 않으며 4.8 mm(3/16인치) 외경의 수냉 튜브와 함께 표준 피드스루에 용접하기 위해 튜브 어댑터가 필요합니다.

특징

  • 듀얼 크리스털
  • 가격
  • 로우 프로파일 설계
  • 크리스털 셔터 포함
  • 쉬운 설치
  • CF40 피드스루에 용접된 베이커블 구성으로 사용 가능
  • Sensor / Feedthrough combinations available with or without bored-through tube fittings

사양서

최대 베이크아웃 온도(물 없음)130° C
최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도400° C
Crystal ExchangeFront loading; shutter moves to the side for easy access to the holders
Feedthrough2 pass water and 1 pass air 4.76 mm (0.188 in) OD with 2 microdot coaxial connections
Water TubesS-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) wall thickness seamless stainless steel tubing
Feedthrough Specifications-CF40 (2-3/4 in. ConFlat)
재료304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
온도Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
장착Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
전체 사양 다운로드
Accessories
Consumables
NameDescription
Easy Rate Sensor FeedthroughsEasy Rate Sensor Feedthroughs
NameDescription
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals

Spare Parts

Part NumberDescription
784-205-G1Crystal Retainer Assembly
784-403-P1Crystal Finger Spring
784-204-G1Crystal Holder Assembly
784-404-P1Retaining Ring
784-300-P1Crystal Holder
784-405-P1Holder Finger Spring
750-174-P2Female coax
080-011-P3SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP
080-013#0-80 Split washer
784-206-G1Easy Rate Sensor Actuator Assembly
784-203-G1Easy Rate Right Angle Dual Sensor Head
784-306-P1Easy Rate Sensor Actuator Clamp
084-054SSplit Washer #4 Stainless Steel Spare
084-027Socket Screw
784-307-P1Easy Rate Dual Sensor Shutter
783-500-023In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.)
783-500-024In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.)
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