질량분석기

TRANSPECTOR® MPH 잔류 가스 분석기

수율 증대 및 최대 가동 시간을 위한 독보적인 성능

Transpector-MPH
ACADEMY

산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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실리콘 웨이퍼의 가격이 증가하고 완성 제품에 대한 수요가 증가한다는 것은 스크랩 웨이퍼로 인한 비용이 그 어느 때보다 크다는 의미입니다. 따라서 공정을 이해하고 결함을 모니터링하는 것이 반도체 제조 센터에서 훨씬 높은 우선순위가 되었습니다. Transpector MPH 가스 분석 시스템은 모든 가스 분석 분야에서 공정에 업계 최고의 성능을 부여하여 칩 수율을 극대화하고 도구 비사용 시간을 최소화하도록 설계되어 있습니다. 낮은 총 소유 비용과 높은 평균 고장 간격의 이점을 결합한 Transpector MPH는 시장에 출시된 다른 잔류 가스 분석기(RGA)보다 높은 수익을 가져다 줍니다.

INFICON은 가스 분석 공정 제어 장비 분야의 전문성을 활용하여 업계 최고 수준의 데이터 수집 속도, 최소 검출 가능한 분압 및 신호대잡음비로 RGA를 생성합니다. 신뢰성을 조금도 약화시키지 않으면서 이 모든 것을 INFICON Transpector 가스 분석기에서 얻을 수 있습니다.

특징

  • 아날로그 스캔 및 선택한 피크에 대한 포인트당 최대 데이터 속도, 1.8 ms
  • TCP/IP 이더넷 연결
  • 이중 필라멘트
  • 현장 교체 가능한 전자 증배관
  • 조합된 양극, 음극 및 리페럴 필라멘트 키트
  • 더 짧은 센서로 설치 공간 최소화
  • 9 디케이드의 동적 범위
  • 2E-15 Torr 미만의 MDPP(100 amu)
  • 신호 대 잡음비 증가
  • 상호 교환 가능한 센서 및 전자장치
  • 센서가 청정실 환경에서 조립, 시험 및 이중 포장됨
  • RoHS 준수

사양서

MPH100M
MPH100F
MPH200M
MPH200F
MPH300M
MPH300F
질량 범위100 amu
최소 검출 가능 부분 압력2E-15 Torr
민감도(FC)6E-4 A/Torr
민감도(EM)500 A/Torr
최대 작동 압력5E-4 Torr
질량 범위100 amu
최소 검출 가능 부분 압력3E-13 Torr
민감도(FC)6E-4 A/Torr
민감도(EM)NA
최대 작동 압력5E-4 Torr
질량 범위200 amu
최소 검출 가능 부분 압력3E-15 Torr
민감도(FC)5E-4 A/Torr
민감도(EM)500 A/Torr
최대 작동 압력5E-4 Torr
질량 범위200 amu
최소 검출 가능 부분 압력4E-13 Torr
민감도(FC)5E-4 A/Torr
민감도(EM)NA
최대 작동 압력5E-4 Torr
질량 범위300 amu
최소 검출 가능 부분 압력4E-15 Torr
민감도(FC)4E-4 A/Torr
민감도(EM)250 A/Torr
최대 작동 압력5E-4 Torr
질량 범위300 amu
최소 검출 가능 부분 압력5E-13 Torr
민감도(FC)4E-4 A/Torr
민감도(EM)NA
최대 작동 압력5E-4 Torr

악세사리

961-021-G1Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
600-1190-P8Ethernet 7m cable
600-1190-P15Ethernet 15m cable
600-1428-P1Power Supply Extension Cable- 15 ft (4.5m)
600-1429-P1Power Supply Extension Cable - 30 ft (9m)
961-417-G1Ethernet Router 4 port with Push Button Wi-Fi
961-418-G1Ethernet Switch 8 port
961-702-G1Pirani Interlock Kit
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual (includes heater)
914-026-G1MPH Angle Valve Kit, Electropneumatic 24 V(DC) (includes heater)
961-029-G1MPH Heater Kit 120 VAC
961-029-G2MPH Heater Kit 230 VAC
Universal Spare Parts
소모품
961-416-P1Spare MPH Heating Jacket
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket (required heater power cable if stand alone)
600-1117-P1Spare Heater Power Cable 120 VAC
600-1117-P2Spare Heater Power Cable 230 VAC
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2MPH Extension Kit
961-205-G2MPH HPR Extension Kit
961-022-G1Spare O-Ring and Nut Kit
074-5007-G1Gas Analysis Product Manuals CD
961-700-G1Coated Iridium Filament Kit
961-700-G2Tungsten Filament Kit
961-701-G1Coated Iridium Filament Ion Source
961-701-G2Tungsten Filament Ion Source
961-2428-G2Electron Multiplier Replacement Kit

스페어 파트

MPH100F
MPH100M
MPH200F
MPH200M
MPH300F
MPH300M
961-H1FASMPH Sensor, 100 AMU FC (MPH100F) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H1FBSMPH Sensor, 100 AMU FC (MPH100F) w/ Tungsten Filaments
MP-H10SMPH Electronics Box, 100 AMU FC or EM/FC (MPH100F, MPH100M) w/ Ethernet
961-H1MASMPH Sensor, 100 AMU EM/FC (MPH100M) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H1MBSMPH Sensor, 100 AMU EM/FC (MPH100M) w/ Tungsten Filaments
MP-H10SMPH Electronics Box, 100 AMU FC or EM/FC (MPH100F, MPH100M) w/ Ethernet
961-H2FASMPH Sensor, 200 AMU FC (MPH200F) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H2FBSMPH Sensor, 200 AMU FC (MPH200F) w/ Tungsten Filaments
MP-H20SMPH Electronics Box, 200 AMU FC or EM/FC (MPH200F, MPH200M) w/ Ethernet
961-H2MASMPH Sensor, 200 AMU EM/FC (MPH200M) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H2MBSMPH Sensor, 200 AMU EM/FC (MPH200M) w/ Tungsten Filaments
MP-H20SMPH Electronics Box, 200 AMU FC or EM/FC (MPH200F, MPH200M) w/ Ethernet
961-H3FASMPH Sensor, 300 AMU FC (MPH300F) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H3FBSMPH Sensor, 300 AMU FC (MPH300F) w/ Tungsten Filaments
MP-H30SMPH Electronics Box, 300 AMU FC or EM/FC (MPH300F, MPH300M) w/ Ethernet
961-H3MASMPH Sensor, 300 AMU EM/FC (MPH300M) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H3MBSMPH Sensor 300 AMU EM/FC (MPH300M) w/ Tungsten Filaments
MP-H30SMPH Electronics Box, 300 AMU FC or EM/FC (MPH300F, MPH300M) w/ Ethernet
제품은 다음 마켓에서 사용됩니다
Analytical-Instrumentation-Navi
分析仪器

분석 기기 시장은 광범위한 어플리케이션 및 시장 분야에서 고도로 정교한 장비 사용자를 지원합니다. 인피콘은 기체, 액체 또는 고체일 수 있는 가장 작은 구조 또는 요소 구성을 분석하고 식별하는 데 도움이 되는 최첨단 기술 제조업체와 협력합니다. 

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Battery-Market-Navi
배터리

전극 생산에서 최종 라인 테스트까지 

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Display-Navi
디스플레이

INFICON은 첨단 기술을 지원하고 최고 품질의 디스플레이 제품을 가능하게 합니다 

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energy-market-navi
에너지

전통적인 석유 및 가스 생산은 지난 수십 년 동안 수요가 증가했으며 개발 도상국의 인구 증가, 도시화 및 소비자 중산층에 의해 추진되고 있습니다.

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
산업 제조

진공은 깨끗한 환경을 보장하기 위해 더 자주 사용되며 여러 공정에 필요하며 진공 없이는 작동하지 않습니다.

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Mobility_and_Automotive-Navi
모빌리티 및 자동차

진화하는 산업에서 신뢰할 수 있는 누출 테스트. 자동차 산업의 변화로 인해 누설 검사가 더욱 중요해지고 있습니다.

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Pharma_and_Medical-Navi
제약 및 의료

생산성 향상 및 제약 분야의 규정 준수 표준 및 품질 요구 사항 충족 지원 

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Research-and-Academia-Navi
연구 및 학계

기초 연구를 통해 우주의 가장 깊은 비밀을 밝히다. 내일의 기술을 강화하는 혁신을 오늘 제공합니다. 

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
반도체 IDM 및 파운드리

Sensors tailored to support a wide range of applications, ensuring product safety, increased yield and maximum productivity

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Vacuum_Coating-Navi
진공 코팅

진공 코팅 시장은 광학 분야를 넘어 불과 10년 전만 해도 거의 상상할 수 없었던 영역, 산업 및 필름 레이어로 빠르게 확장되고 있습니다.

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