광학 가스 분석기

INFICON QUANTUS® LP100 가스 분석기

실시간 엔드포인트 검출 및 누출 검출

Quantus-LP100
ACADEMY

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON Quantus LP100 가스 분석기는 중요한 공정 환경을 위한 실시간 누출 검출 및 엔드포인트 검출 기능을 제공합니다. 많은 공정이 누출에 취약하거나 엔드포인트 탐지가 필요합니다. 

Quantus LP100은 민감한 공정 환경에서 작은 변화에 실시간으로 반응하여 스크랩이 최소화되고 수율이 향상되도록 설계된 가스 분석기입니다.

특징

  • 현장에서 교체 가능한 편리한 플라즈마 셀
  • 표준 KF25 연결을 사용하여 쉽게 설치
  • 유지보수가 거의 필요 없음
  • 탁월한 검출 한계를 낮은 ppm 수준까지 낮춤
  • 10 mTorr ~ 1 Torr의 작동 범위
  • 장기간 안정성: 펌프 필요 없음
  • 낮은 소유 비용
  • 고속 10 Hz 샘플링 주파수
  • 작은 설치 공간: (H x W x L) 87 x 151 x 241 mm(3.4 x 5.9 x 9.5 인치)
  • 현장 교육을 받고 경험이 풍부한 INFICON 엔지니어가 지원

사양서

Operating pressure 0.01 to 1 Torr (application dependent)
Spectrometer performance200 to 850 nanometer wavelengths (UV-VIS) 16-bit full-scale resolution, 2048 pixels
Detection limitTo low ppm levels (application dependent)
Exposure timeMinimum of 1 ms
Vacuum fittingKF25
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