TRANSPECTOR® SPS 잔류 가스 분석기
INFICON Transpector® SPS (Single Pressure Sampling) 잔류 가스 분석기는 목표로 하는 고압 공정에 가장 적합한 세미 웨이퍼 및 디스플레이 패널 보호 기능을 제공합니다.
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
INFICON Transpector® SPS(Single Pressure Sampling) 잔류 가스 분석기는 목표로 하는 고압 공정에 가장 적합한 세미 웨이퍼 및 디스플레이 패널 보호 기능을 제공합니다. Transpector SPS는 단일 압력 분야에서 가장 민감한 공기 누출 및 공정 오염 검출로 웨이퍼와 패널 스크랩을 최소화합니다. 그리고 업계 최고의 검출 한도와 측정 속도를 제공하여 웨이퍼와 패널 출력의 품질과 수를 보장합니다. Transpector SPS는 안정적인 고압 공정을 위해 가장 신뢰할 수 있는 공정 모니터링을 제공하여 공정 처리량과 생산량을 최대화합니다. 이 계측기는 현장에서 입증된 이온 소스 및 펌핑 패키지와 함께 간단하고 비용 효율적인 흡입구 시스템을 결합하여 위험이 낮고 보상이 높은 가스 분석 솔루션을 제공합니다. 일반 진공 분야와 산업 분야에 적합한 Transpector SPS는 VAR(Vacuum Arc Re-melting) 같은 야금 및 열처리 분야에서 입증된 솔루션입니다. Transpector SPS는 구성 가능하며 특정 분야와 예산에 맞게 조정될 수 있습니다. 표준 오리피스, 모세관 및 바이패스 라인 조합은 1E-4 Torr에서 대기로 공정 압력을 샘플링하기 위해 선택할 수 있습니다. 내 식성 인렛, 이온 소스, 펌핑 패키지는 에칭, CVD, ALD 및 기타 침식성 가스 공정에서 생존성을 위해 설계되었습니다.
장점
- 단일 압력 샘플링 흡입구로 웨이퍼 및 패널 보호를 위한 총 소유 비용 최소화; 확산, 에피택시, RTP 등의 고압 공정에 적합
- 일정한 고압 공정을 위한 최저 수준의 공기 누출 및 오염 검출 기능 제공
- 강력한 데이터 획득과 동기화를 통한 원활한 팹 통합과 신뢰할 수 있는 차단
- 맞춤 레시피 최적화로 고유한 제조 역량 향상
- 전문가의 즉각적인 현장 대응으로 중요한 공정 요구 보호
일반적인 응용 분야
- PVD 공정
- 확산 및 에피택시 공정
- 에칭 공정: 금속, 유도체 , 실리콘 에칭, HDP-etch
- CVD 공정(높은 k 유도체, HDP-CVD, LP-CVD, SA-CVD, CVD 낮은 k, PE-CVD 포함)
사양서
| 총 압력 범위 | 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) |
| 검출 한도 | <1 ppm |
| 시스템 작동 압력(오리피스/모세관 포함) | 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres |
| 민감도(@ 저배출, FC 모드) | >4.0E-6 amps/Torr (>3E-6 amps/mbar) |
| 민감도(@ 고배출, FC 모드) | >2.0E-5 amps/Torr (>1.5E-5 amps/mbar) |
| 총 압력 범위 | 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) |
| 검출 한도 | <2 ppm |
| 시스템 작동 압력(오리피스/모세관 포함) | 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres |
| 민감도(@ 저배출, FC 모드) | >2.0E-6 amps/Torr (>1.5E-6 amps/mbar) |
| 민감도(@ 고배출, FC 모드) | >1.0E-5 amps/Torr (>7.6E-6 amps/mbar) |
| 총 압력 범위 | 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) |
| 검출 한도 | <4 ppm |
| 시스템 작동 압력(오리피스/모세관 포함) | 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres |
| 민감도(@ 저배출, FC 모드) | >1.0E-6 amps/Torr (>7.6E-7 amps/mbar) |
| 민감도(@ 고배출, FC 모드) | >5.0E-6 amps/Torr (>3.8E-6 amps/mbar) |
