광학 가스 분석기
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광학 가스 분석기
Quantus® LP100
중요한 프로세스 환경에 대한 실시간 누출 감지 및 끝점 감지 제공
INFICON QUANTUS® LP100 가스 분석기
- 10 mTorr ~ 1 Torr의 작동 범위
- 낮은 ppm 수준까지 뛰어난 검출 한계
- 장기적인 신뢰성: 펌프가 필요하지 않음
- 표준 KF25 연결을 사용한 손쉬운 설치
광학 가스 분석기
Augent™ OPG550
INFICON AugentTM 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다.
Augent™ OPG550
- 고속 누출 감지로 챔버 누출 테스트 가능
- 생산성 및 수율 증가
- 긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지
- 공정 화학에 대한 내구성