Vacuum Feedthroughs

回転式/直線状モーションフィードスルー ISO-KF

ドロップインオプション

バキュームゲージに革命を起こしましょう！

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INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。

利用可能なフランジデザインISO-KF / ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10^-9 mbar l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。

利点

2つのFPMシャフトシール
ダイレクトプッシュ/プルとロータリーアクチュエーション
ロッキングリングとオプションの回転防止デバイス
2011/65/EU RoHS 準拠

仕様

FCH016-H

FCH025-H

FCH040-H

真空接続		DN 16 ISO-KF
フィードスルー/シール		FPM
シャフト接続		M 3 / Ø5mm
移動量	mm	50

シャフトロード
最大移動量での半径方向力	N	10
ねじりトルク	N•m	2
リーク量、静電気	mbar•L/s	1 x 10^-9
圧力 (絶対圧力)		1 x 10^-8 mbar ... 1bar
使用温度	°C	50
ベークアウト温度	°C	110
接ガス材料		stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082
重量	kg	0.1

真空接続		DN 25 ISO-KF
フィードスルー/シール		FPM
シャフト接続		M 4 / Ø8mm
移動量	mm	100

シャフトロード
最大移動量での半径方向力	N	15
ねじりトルク	N•m	8
リーク量、静電気	mbar•L/s	1 x 10^-9
圧力 (絶対圧力)		1 x 10^-8 mbar ... 1bar
使用温度	°C	50
ベークアウト温度	°C	110
接ガス材料		stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082
重量	kg	0.2

真空接続		DN 40 ISO-KF
フィードスルー/シール		FPM
シャフト接続		M 6 / Ø12mm
移動量	mm	150

シャフトロード
最大移動量での半径方向力	N	30
ねじりトルク	N•m	20
リーク量、静電気	mbar•L/s	1 x 10^-9
圧力 (絶対圧力)		1 x 10^-8 mbar ... 1bar
使用温度	°C	50
ベークアウト温度	°C	110
接ガス材料		stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082
重量	kg	0.3

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

パーツ番号

FCH016-H
214-320	FCH016-H Rotary/linear motion feedthrough
214-072	Anti-rotation device DN 16

FCH025-H
214-322	FCH025-H Rotary/linear motion feedthrough
214-073	Anti-rotation device DN 25

FCH040-H
214-324	FCH040-H Rotary/linear motion feedthrough
214-074	Anti-rotation device DN 4

ダウンロード

3D Step Files

FCH016-H anti-rotation device

zip • 36,4 KB • 3Dファイル

FCH016-H feedthrough

zip • 50,0 KB • 3Dファイル

FCH025-H anti-rotation device

zip • 33,4 KB • 3Dファイル

FCH025-H feedthrough

zip • 51,5 KB • 3Dファイル

FCH040-H anti-rotation device

zip • 36,7 KB • 3Dファイル

FCH040-H feedthrough

zip • 54,6 KB • 3Dファイル

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