Vacuum Feedthroughs
直線状モーションフィードスルー CF
ドロップインオプション
バキュームゲージに革命を起こしましょう！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。
利用可能なフランジデザインISO-KF / ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。
利点
- さらに厳しい要求事項を満たしたベロー
- ダイレクト プッシュ/プル アクチュエーション
- ねじマイクロメータによる高精度調整
- 2011/65/EU RoHS 準拠
仕様
FPU016-H
FPU040-H
FPU016-Z
FPU040-Z
| タイプ | FPU016-H | |
| 真空接続 | DN 16 CF-R | |
| フィードスルー/シール | bellow | |
| シャフト接続 | M4x16mm | |
| アクチュエータ | manual | |
| 移動量 | mm | 25 |
| 1回転移動量 | mm | |
| 目盛分割 | mm | 5 |
| シャフトロード | ||
| 最大半径方向力 | N | 20 |
| 軸方向力真空 | N | 85 |
| 大気圧に対する軸方向力 | N | 100 |
| ねじりトルク | N•m | 0.2 |
| リーク量 | mbar•L/s | 5 x 10-11 |
| 圧力 (絶対圧) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| ベークアウト温度 | ||
| フィードスルー | °C | 300 |
| ねじマイクロメーター | °C | |
| 接ガス材料 | stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 | |
| 重量 | kg | 0.15 |
| タイプ | DN 40 CF-R | |
| 真空接続 | bellow | |
| フィードスルー/シール | M6x10mm, Ø10mm | |
| シャフト接続 | manual | |
| アクチュエータ | mm | 50 |
| 移動量 | mm | |
| 1回転移動量 | mm | 10 |
| 目盛分割 | ||
| シャフトロード | N | 100 |
| 最大半径方向力 | N | 140 |
| 軸方向力真空 | N | 200 |
| 大気圧に対する軸方向力 | N•m | 0.5 |
| ねじりトルク | mbar•L/s | 5 x 10-11 |
| リーク量 | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 圧力 (絶対圧) | ||
| ベークアウト温度 | °C | 300 |
| フィードスルー | °C | |
| ねじマイクロメーター | stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 | |
| 接ガス材料 | kg | 0.75 |
| 重量 | ||
| タイプ | DN 16 CF-R | |
| 真空接続 | bellow | |
| フィードスルー/シール | M4x16mm | |
| シャフト接続 | micrometer screw | |
| アクチュエータ | mm | 20 |
| 移動量 | mm | 0.5 |
| 1回転移動量 | mm | 0.01 |
| 目盛分割 | ||
| シャフトロード | N | 20 |
| 最大半径方向力 | N | 185 |
| 軸方向力真空 | N | 200 |
| 大気圧に対する軸方向力 | N•m | 0.2 |
| ねじりトルク | mbar•L/s | 5 x 10-11 |
| リーク量 | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 圧力 (絶対圧) | ||
| ベークアウト温度 | °C | 300 |
| フィードスルー | °C | 100 |
| ねじマイクロメーター | stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 | |
| 接ガス材料 | kg | 0.25 |
| 重量 | ||
| タイプ | DN 40 CF-R | |
| 真空接続 | bellow | |
| フィードスルー/シール | M6x10mm, Ø10mm | |
| シャフト接続 | micrometer screw | |
| アクチュエータ | mm | 50 |
| 移動量 | mm | 1 |
| 1回転移動量 | mm | 0.005 |
| 目盛分割 | ||
| シャフトロード | N | 100 |
| 最大半径方向力 | N | 440 |
| 軸方向力真空 | N | 500 |
| 大気圧に対する軸方向力 | N•m | 0.5 |
| ねじりトルク | mbar•L/s | 5 x 10-11 |
| リーク量 | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 圧力 (絶対圧) | ||
| ベークアウト温度 | °C | 300 |
| フィードスルー | °C | 100 |
| ねじマイクロメーター | stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 | |
| 接ガス材料 | kg | 1 |
| 重量 | ||
パーツ番号
| FPU016-H | |
| 214-330 | FPU016-H Linear feedthrough DN 16 CF-R |
| FPU016-Z | |
| 214-334 | FPU016-Z Linear feedthrough DN 16 CF-R |
| FPU040-H | |
| 214-332 | FPU040-H Linear feedthrough DN 40 CF-R |
| FPU040-Z | |
| 214-336 | FPU040-Z Linear feedthrough DN 40 CF-R |
