Vacuum Feedthroughs
回転式フィードスルーCF
回転式フィードスルーCF
ドロップインオプション
バキュームゲージに革命を起こしましょう！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。
利用可能なフランジデザインISO-KF / ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。
利点
- シール済みベロー
- オールメタルバージョン
- 非常に困難な真空の必要条件を満たすために
- 2011/65/EU RoHS 準拠
仕様
FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
| タイプ | DN 16 CF-F | |
| 真空接続 | bellow | |
| フィードスルー/シール | mm | 4 |
| シャフト接続 | ||
| トルク伝達 | N•m | 0.4 |
| ダイナミック | N•m | 0.2 |
| 静電気 | N•m | 0.2 |
| 回転数 | RPM | 200 |
| 最大トルク | RPM | |
| シャフトロード真空側 | ||
| 半径方向力 | N | 10 |
| 軸方向力 | N | 5 |
| サービスライフ | Revolutions | 1 000 000 |
| 目盛分割 | degree | 10 |
| 真空気密性 | mbar•L/s | 5 x 10-11 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 使用温度 | °C | 300 |
| ベークアウト温度 | °C | 300 |
| 接ガス材料 | 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 | |
| 重量 | kg | 0.3 |
| タイプ | DN 40 CF-F | |
| 真空接続 | bellow | |
| フィードスルー/シール | mm | 8 |
| シャフト接続 | 4 | |
| トルク伝達 | N•m | 2 |
| ダイナミック | N•m | 3 |
| 静電気 | N•m | 1000 |
| 回転数 | RPM | 500 |
| 最大トルク | RPM | |
| 60 | ||
| シャフトロード真空側 | 20 | |
| 半径方向力 | N | 2 000 000 |
| 軸方向力 | N | – |
| サービスライフ | Revolutions | 5 x 10-11 |
| 目盛分割 | degree | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar |
| 真空気密性 | mbar•L/s | 300 |
| 圧力 (絶対圧力) | 300 | |
| 使用温度 | °C | 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 |
| ベークアウト温度 | °C | 1.5 |
| 接ガス材料 | 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 | |
| 重量 | kg | 0.3 |
| タイプ | DN 40 CF-F | |
| 真空接続 | bellow | |
| フィードスルー/シール | mm | 12 |
| シャフト接続 | 10 | |
| トルク伝達 | N•m | 2 |
| ダイナミック | N•m | 5 |
| 静電気 | N•m | 500 |
| 回転数 | RPM | 300 |
| 最大トルク | RPM | |
| 100 | ||
| シャフトロード真空側 | 30 | |
| 半径方向力 | N | 1 000 000 |
| 軸方向力 | N | – |
| サービスライフ | Revolutions | 5 x 10-11 |
| 目盛分割 | degree | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar |
| 真空気密性 | mbar•L/s | 300 |
| 圧力 (絶対圧力) | 300 | |
| 使用温度 | °C | 304L/1.4306, 304/1.4301, 303/1.4305 |
| ベークアウト温度 | °C | 3 |
| 接ガス材料 | 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 | |
| 重量 | kg | 0.3 |
パーツ番号
| FRU016-H | |
| 214-310 | FRU016-H Rotary feedthrough DN 16 CF-F |
| FRU040-L | |
| 214-314 | FRU040-L Rotary feedthrough DN 40 CF-F |
| FRU040-N | |
| 214-312 | FRU040-N Rotary feedthrough DN 40 CF-F |
