ホットイオンゲージ

IE414, IE514

IM540用熱陰極電離型パッシブゲージヘッド

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IE414とIE514は、熱陰極電離効果に基づくハイエンド真空センサーです。IE414はベイヤードアルパートゲージで、IE514はエクストラクターセンシングの原理に基づいています。これらのパッシブゲージはIM540真空計コントローラーで制御されます。

カソードエミッション電流の変調により、IE414の測定範囲は10-²mbarから10-¹¹mbarまで9桁以上に及びます。エクストラクターセンシングの原理により、IE514はX線とイオン脱離の影響を低減し、2^×10-¹²mbarの測定下限に達します。IE414とIE514のゲージヘッドは、低アウトガス真空システム用に設計されており、極めて高温な（400 °Cまで）ベーキングが可能です。耐熱ゲージヘッドケーブルセットは、200℃（センサーのフランジ部では250℃）を超える高いベークアウト温度にも対応しています。

メリット

個別に校正されたセンシングシステムによる高い測定精度
交換可能なカソード
400 °Cまでの極めて高温なベークアウト

IE414

ベイヤードアルパートセンシング原理
2×10^-11mbarまでの測定範囲
カソードエミッション電流の変調（IM540真空計コントローラーとの組み合わせ）

IE514

エクストラクターセンシング原理
最も低い測定限界、2×10-¹² mbarまで
X線およびイオン脱離の影響を大幅に低減

代表的なアプリケーション

超高真空領域での精密な真空測定と高温ベークアウトを必要とする科学および研究開発アプリケーション

オペレーティング・ユニット

真空計コントローラ IM540

仕様

IE414

IE514

測定原理	ベイヤードアルパート、熱陰極電離型
測定範囲	2×10^-11 ... 1×10^-2 mbar (モジュラーエミッション電流)
X線リミット	<10^-11 mbar
フィードスルー	Al₂O₃セラミック
ベークアウト温度	≤400 °C
真空にさらされる材料	NiFe、_AI2O3、ステンレス鋼、Y₂O3、Mo、タングステン
特徴	イリジウムフィラメント、Y₂O3コートモリブデン陽極

測定原理	エクストラクタ―、熱陰極電離型
測定範囲	2×10^-12 ... 1×10^-4 mbar
X線リミット	<10^-12 mbar
フィードスルー	Al₂O₃セラミック
ベークアウト温度	≤400 °C
真空にさらされる材料	NiFe、_AI2O3、ステンレス鋼、Y₂O3、Mo、タングステン
特徴	イリジウムフィラメント、Y₂O3コートモリブデン陽極

品番

アクセサリー

	IE414
399-661	IE414 DN 40 CF-F
399-676	交換用カソード IE414
	IE514
399-663	IE514 DN 40 CF-F
399-677	交換用カソード IE514

	IM540用ゲージヘッドケーブル対IE414/514、80 °C
399-680	3 m
399-681	5 m
399-682	10 m
399-685	50 m

	IM540用ゲージヘッドケーブル対IE414/514、200 °C
399-686	3 m
399-687	5 m
399-688	10 m
399-690	50 m