1. HPG400
ホットイオンゲージ

HPG400

高真空計用HPG400 ATM

HPG400
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INFICONの高圧熱陰極ピラニゲージ、HPG400は、高圧熱陰極とピラニセンサを1台のコンパクトで経済的なパッケージにまとめ、2×10-6 mbar～大気圧(1.5×10-6 Torr～大気圧)までの圧力を計測できます。HPG400は正確なスパッタリングプロセス圧力コントロールを行うために、繰り返しおよび再現可能な圧力計測を提供します。

利点

  • HPG400はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
  • 高圧熱陰極電離ゲージは、1×10-5 … 1 mbarまでの圧力を、向上したプロセスコントロールによって計測し、正確で信頼できる結果を達成
  • 5×10-2と1 mbarの間でユーザーが選べる熱陰極電離放出のアクチベーション
  • ピラニインターロック機構により、熱フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
  • オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
  • 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
  • RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

  • 半導体製造、電子部品、メディア産業におけるスパッタ装置
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低真空から高真空領域のコントロール

仕様

Measurement range (air, N2)mbar
Torr		2×10-6 … 1000
1.5×10-6 … 750
   
Accuracy  
10-5 … 1 mbar% of reading±15 (1)
   
Repeatability  
10-5 … 10-1 mbar% of reading2
10-1 … 100 mbar% of reading30
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange°C80
Bakeout electronics removed°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)		20 … 28
0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
   
(1) Accuracy from 10-5 mbar to the selected hot ion emission on value
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
アクセサリー
スペアパーツ
Part NumberDescription
353-520HPG400 DN 25 ISO-KF
353-521HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-522HPG400 DN 40 CF-F
353-523HPG400 LCD, DN 40 CF-F
353-525HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-526HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF
353-528HPG400-SD DNet DN 40 CF-F
Part NumberDescription
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
353-511Power supply BPG400 24VDC
357-499Baffle HPG (10 pieces)
Part NumberDescription
354-487Spare sensor head HPG400, DN 25 ISO-KF
354-488Spare sensor head HPG400, DN 40 CF-F

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データシート
HPG400 DE
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HPG400 Datasheet
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HPG400 ES
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HPG400 KO
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HPG400 ZH
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HPG400 JA
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取扱説明書
TINA31E1_Operating manual_long
pdf • 1,1 MB • 英語版 • 取扱説明書
TIMA31E1_Operating manual_short
pdf • 307,4 KB • 英語版 • 取扱説明書
TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short
pdf • 417,4 KB • 英語版 • 取扱説明書
TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet
pdf • 323,7 KB • 英語版 • 取扱説明書
TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus
pdf • 404,8 KB • 英語版 • 取扱説明書
3D Step Files
353-520 HPG400 without LCD
zip • 445,3 KB • 3Dファイル
353-521 HPG400 without LCD
zip • 462,0 KB • 3Dファイル
353-522 HPG400 without LCD
zip • 452,1 KB • 3Dファイル
353-523 HPG400 with LCD
zip • 459,2 KB • 3Dファイル
353-525 HPG400-SP with PROFIBUS DP
zip • 467,4 KB • 3Dファイル
353-526 HPG with PROFIBUS DP
zip • 470,4 KB • 3Dファイル
353-527 HPG400-SD with DeviceNet
zip • 461,2 KB • 3Dファイル
353-528 HPG400-SD with DeviceNet
zip • 464,5 KB • 3Dファイル
354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF
zip • 31,1 KB • 3Dファイル
354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF
zip • 45,4 KB • 3Dファイル
その他
HPG400 int EDS
eds • 33,5 KB • 英語版
HPG400 Float EDS
eds • 33,6 KB • 英語版
HPG400 06A8 DPV1 GSD
GSD • 3,6 KB • 英語版
本製品は以下のマーケットで使用されています。
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