バキュームスイッチ
VSA200
設定範囲 20 ... 970 Torr
ドロップインオプション
バキュームゲージに革命を起こしましょう！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONの真空スイッチは正確で信頼できる圧力検出のために設計されています。これらの堅牢な電気スイッチは、圧力インターロックなど、すべての真空用途で使用されます。スイッチは絶対圧（真空基準）または差動圧（周囲圧力基準）の2つのバージョンから選択できます。
機能
- IP 44保護
- 接点/フリー電位のリレー出力
- 高精度温度補正センサー
- 圧力範囲 1×10-9 mbar～2 bar
利点
- 耐腐食性、全ステンレス製
- 堅牢な設計、クリーンルーム仕様
- 工場初期設定または現場での調整が可能なセットポイントにより設置が簡単
標準的なアプリケーション
- すべての真空アプリケーションに適した大気圧検知
- 圧力インターロック (電源、ガス供給、ポンプ、バルブ、アクチュエータ、その他)
- 真空から高真空
仕様
1100 mbar
1000 Torr
| 設定レンジ | mbar Torr | 30 … 1060 – |
| 許容圧力 | bar (absolute) | 5 |
| セットポイント精度 | Torr | ± 5 |
| 応答時間 | ms | ≤45 |
| ヒステリシス | Torr | 20 |
| 設定レンジ | mbar Torr | – 20 … 970 |
| 許容圧力 | bar (absolute) | 5 |
| セットポイント精度 | Torr | ± 5 |
| 応答時間 | ms | ≤45 |
| ヒステリシス | Torr | 20 |
品番
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VSA200 absolute switch DE
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VSA200, VSD200 Vacuum Switch
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取扱説明書
本製品は以下のマーケットで使用されています。
