キャパシタンスマノメーター

Stripe® CDG100Dhs

100℃温度制御、フルスケール 0.1 ... 1000 Torr / mbar

Stripe-CDGxxx
ドロップインオプション

バキュームゲージに革命を起こしましょう!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON Stripe高速キャパシタンスダイアフラムゲージは、現在最も高速の高精度真空計です。2ms未満の反応時間、およびEtherCATフィールドバスインターフェースによって、完全に新しい分野の用途を切り開きます。実績のある、温度制御、耐食性、超高純度のセラミックセンサは、数年にわたる長期間の安定性と、最先端の零点安定性を実現します。ストライプには、INFICONで、計器を望ましくないプロセスの副産物から保護する特許を受けた独自のセンサシールドが同梱されています。INFICON Stripeは革新的な加熱技術を使用することで接触面を冷却し、独自の高速性能によって生産性を前例のない水準まで向上させる、この分野で最先端の真空計です。

利点

  • 高い生産性、2ms未満の反応時間
  • 柔軟な統合 – EtherCAT Fieldbus
  • 長寿命 – 実績のあるセラミックセンサー
  • 再較正が不要 – フルスケール範囲に基づいた安定性(90ppm/年)

標準的なアプリケーション

  • 原子層堆積法
  • 高速プロセスコントロール
  • PVD、CVD、エッチング
  • 一般的な高温真空用途

仕様

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms2 ... 20
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms2 ... 20
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.4
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms2 ... 20
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

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本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

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energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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Mobility_and_Automotive-Navi
モビリティ&オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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Pharma_and_Medical-Navi
製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

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Research-and-Academia-Navi
研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

詳細はこちら
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半導体IDM&ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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