キャパシタンスマノメーター
SKY® CDG100D
100℃温度制御、フルスケール 0.1 ... 1000 Torr / mbar
ドロップインオプション
バキュームゲージに革命を起こしましょう!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
Digital interface
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INFICON SKY CDG100Dマノメータは高精度な総合圧力計測とコントロールにおいて最良の選択になるでしょう。CDG100Dゲージは100°Cに温度制御され、困難な半導体やプラズマプロセスにおいて優れた性能を発揮します。100mTorrから1000Torrまでのフルスケール範囲で、全共通のフランジタイプ、フィールドバスインターフェースも一緒に提供しており、0から10ボルトまで直線的にガス種に依存しない圧力信号を送ります。INFICONのキャパシタンスマノメーターは耐腐食性に優れた高純度のアルミナセラミックダイアフラムを使用しています。セラミックセンサの利点は信号がより安定していること、気圧からの早い回復、短いウォームアップ時間と驚くべき寿命です。INFICONのCDGは、困難な半導体、プラズマ、真空の用途に適した、高品質で費用効果の高い圧力センサです。
EtherCATデジタルインターフェース付きで今すぐ入手可能!
利点
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
- 2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
- 優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
- CE、EN、UL、SEMI、RoHSに準拠、基準に適合
標準的なアプリケーション
- エッチング、PVD、PVDと他の半導体製造プロセス
- 化学物質を使用する腐食性の高温プロセス
- ゲージ保護を要する一般的な薄膜と真空プロセス
仕様
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 | % of reading | 0.2 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 30 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.2 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 30 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.4 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 130 / 30 (3) |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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パンフレット
データシート
SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar DE
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SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar
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SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar
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SKY® CDG100D 0.1 ... 1,000 Torr/mbar KO
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Datasheet_CDG100D-Torr-std_zh-cn
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データシート
SKY® CDG100D 0.1 ...1000 Torr / mbar JA
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データシート
取扱説明書
Manual CDG100D 4-20 mA Current loop
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取扱説明書
Manual CDG100D ZN
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取扱説明書
Communication protocol EtherCAT new generation
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取扱説明書
Communication protocol PROFINET
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取扱説明書
CDG100D Gebrauchsanleitung
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取扱説明書
Gebrauchsanleitung CDG100D 4-20 mA Current Loop
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取扱説明書
CDG100D manual
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取扱説明書
CDGxxxD Communication manual RS232C
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取扱説明書
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
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取扱説明書
Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN
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取扱説明書
Communication protocol EtherCAT
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取扱説明書
Communication protocol PROFIBUS
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取扱説明書
3D Step Files
CDG100D_9DSUB_16CF
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CDG100D_9DSUB_tube
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CDG100D_9DSUB_4VCR male
stp
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3,1 MB
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3Dファイル
CDG100D_9DSUB_4VCR female
stp
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3,0 MB
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3Dファイル
CDG100D_9DSUB_8VCRf
stp
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2,1 MB
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CDG100D_4-VCR male_P-Net
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CDG100D_4-VCR female_P-Net
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CDG100D_8-VCR female long_P-Net
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1,9 MB
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CDG100D_9DSUB_16KF
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CDG100D 8VCR P-Net
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CDG100D 16KF P-Net
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CDG100D tube P-Net
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CDG100D 16CF P-Net
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CDG100D_4-VCR female
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CDG100D_4-VCR male_D-Net
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5,1 MB
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CDG100D_4-VCR female_P-Bus
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CDG100D 16CF
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CDG100D 16CF P-Bus
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CDG100D 16KF ECAT
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CDG100D 16KF P-Bus
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CDG100D 4VCR D-Net
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CDG100D 4VCR ECAT
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CDG100D 4VCR female
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CDG100D 4VCR male
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CDG100D 8VCR D-Net
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CDG100D 8VCR ECAT
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CDG100D 8VCR female
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CDG100D 8VCR female long
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CDG100D 8VCR P-Bus
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CDG100D tube
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CDG100D tube D-Net
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CDG100D tube ECAT
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CDG100D tubeP-Bus
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Edge CDGxxxD2 8VCR EtherCAT
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Edge CDGxxxD2 tube EtherCAT
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3Dファイル
Other
EtherCAT new generation ESI file CDG V2_0_0_0
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10,5 KB
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日本語, 英語版
PROFINET GSDML File for CDGxxxD
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英語版
EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0
xml
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1,3 MB
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英語版
Software EDS for CDGxxxD
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7,6 KB
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英語版
Software GSD for CDGxxxD
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