キャパシタンスマノメーター
SKY® CDG045D
45℃温度制御、フルスケール 0.05 ... 1000 Torr / mbar
ドロップインオプション
バキュームゲージに革命を起こしましょう!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONの SKY CDG045D マノメーターはトータルな圧力計測とコントロールの高い精度において最良の選択となります。CDG045D ゲージは摂氏 45度にコントロールされた温度で、優れた信号安定性と再現性を発揮します。50mTorrから1000Torrまでのフルスケール範囲で、全共通のフランジタイプ、フィールドバスインターフェースも一緒に提供しており、0から10ボルトまで直線的にガス種に依存しない圧力信号を送ります。INFICONのキャパシタンスマノメーターは耐腐食性に優れた高純度のアルミナセラミックダイアフラムを使用しています。セラミックセンサの利点は信号がより安定していること、気圧からの早い回復、短いウォームアップ時間と驚くべき寿命です。INFICONのCDGは、困難な真空作業に適した高品質で費用効果の高い圧力センサです。
EtherCAT デジタルインターフェース付きで今すぐ入手可能!
利点
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
- 2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
- 優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
- コンプライアンスおよび規格:CE, EN, UL, SEMI, RoHS
標準的なアプリケーション
- エッチング、PVD、PVDと他の半導体製造プロセス
- 化学および腐食性真空プロセス
- 一般的な薄膜と真空プロセス
- 国際基準にそった、テスト機器監視用のレファレンスセンサ
- トレース計測の管理換え基準
仕様
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.05 Torr / mbar
精度 | % of reading | 0.15 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 30 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.15 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 30 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.15 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 130 / 30 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
ダウンロード
データシート
Datasheet_sky-cdg04d_de-de
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SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar EN
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データシート
CDG045D SKY® 0,05... 1.000 Torr/mbar
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データシート
SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar KO
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データシート
SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar ZH
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データシート
SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar JA
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データシート
寸法図
取扱説明書
CDG045D 4-20 mA Current Loop EN
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Communication protocol PROFINET
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取扱説明書
CDG045D 4-20 mA Current Loop DE
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ドイツ語
Communication protocol EtherCAT new generation
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2,1 MB
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取扱説明書
CDGxxxD Communication manual RS232C
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英語版
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取扱説明書
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
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ドイツ語
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取扱説明書
Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN
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474,8 KB
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英語版
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取扱説明書
Communication protocol EtherCAT
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英語版
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取扱説明書
Communication protocol PROFIBUS
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英語版
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取扱説明書
Gebrauchsanleitung CDG045D
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937,3 KB
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ドイツ語
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取扱説明書
Manual CDG045D
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英語版
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取扱説明書
Manual CN CDG045D
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中国語
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取扱説明書
3D Step Files
CDG045D_9DSUB_8VCRf
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3Dファイル
CDG045D_9DSUB_8VCR long
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3,0 MB
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3Dファイル
CDG045D 4VCR female ECAT II
stp
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1,4 MB
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3Dファイル
CDG045D_8-VCR female_long_ECAT_II
stp
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5,6 MB
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3Dファイル
CDG045D_9DSUB_16KF
stp
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2,9 MB
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3Dファイル
CDG045D - 200D_9DSUB_16CF
stp
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3,0 MB
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3Dファイル
CDG045D_9DSUB_tube
stp
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2,9 MB
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3Dファイル
CDG045D_9DSUB_4VCR male
stp
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3,1 MB
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3Dファイル
CDG045D_9DSUB_4VCR female
stp
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3,0 MB
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CDG045D 16KF P-Net
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CDG045D tube P-Net
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231,6 KB
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CDG045D_4-VCR male_D-Net
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5,1 MB
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CDG045D_8-VCR female long_D-Net
stp
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5,0 MB
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3Dファイル
CDG045D_4-VCR male_P-Bus
stp
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5,0 MB
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3Dファイル
CDG045D_4-VCR female_P-Bus
stp
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4,9 MB
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3Dファイル
CDG045D_8-VCR female long_P-Bus
stp
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4,9 MB
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CDG045D 8VCR P-Net
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CDG045D 16CF P-Net
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CDG045D_4-VCR male_P-Net
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2,0 MB
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CDG045D_4-VCR female_P-Net
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1,9 MB
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CDG045D_8-VCR female long_P-Net
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1,9 MB
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CDG045D_4-VCR male_ECAT_II
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CDG045D 16CF
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CDG045D 16CF D-Net
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CDG045D 16CF P-Bus
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CDG045D 16KF
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CDG045D 16KF P-Bus
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CDG045D 16KF D-Net
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CDG045D 16KF ECAT
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CDG045D 4VCR D-Net
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CDG045D 4VCR female
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258,0 KB
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CDG045D 4VCR male
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277,6 KB
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CDG045D 8VCR D-Net
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185,0 KB
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CDG045D 8VCR ECAT
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213,6 KB
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CDG045D 8VCR female
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156,2 KB
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CDG045D 8VCR female long
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259,4 KB
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CDG045D 8VCR P-Bus
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CDG045D tube
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CDG045D tube D-Net
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CDG045D tube ECAT
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CDG045D tube P-Bus
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3Dファイル
その他
EtherCAT new generation ESI file CDG V2_0_0_0
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日本語, 英語版
PROFINET GSDML File for CDGxxxD
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3,1 KB
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英語版
EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0
xml
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1,3 MB
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英語版
Software EDS for CDGxxxD
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7,6 KB
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英語版
Software GSD for CDGxxxD
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英語版
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