キャパシタンスマノメーター

SKY® CDG025D-X3, 4-20mA

フルスケール 0.1~1000Torr / mbar

SKY-CDG025D-X3-4-20MA

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON SKY CDG025Dキャパシタンスダイアフラムゲージの高精度なラインである温度制御圧力計は厳しい製造装置環境で安定した性能を発揮するようデザインされています。高度なデジタル電子装置によって、ゲージ性能を強化し、ワンプッシュボタンでゼロ点設定のような容易に操作できる機能を提供します。現在、2線式電流ループの新バージョンは利用できます。耐腐食性に優れた高純度セラミックセンサは優れたゼロ点の安定と、空気圧変化によるバーストを含む数百万回のプレッシャーサイクルを予期した上での長い寿命を提供します。このユニークなセンサシールド(特許申請中)がゲージをプロセス汚染から保護します。ロバストな機械デザインとデジタル電子工学が、EMC互換性、長期安定性と温度制御を向上させました。CDG025Dセットは、電源起動後のすばやい安定化、大気圧との接触からのすばやい回復への新たな基準を定めました。

利点

  • 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
  • 電源立ち上げ後の素早い安定性
  • 大気圧からのすばやい回復
  • 耐腐食性セラミックセンサ
  • 優れた長期安定性
  • 温度補正済み
  • 汚染からセンサを完全に保護
  • ワンプッシュボタンでゼロ点調整
  • 2線式電流ループによるインターフェース
  • 長いケーブル距離 (<300m)
  • 低エネルギーゲージ
  • リモートゼロ含む
  • クリーンルーム準拠
  • ステータス LED

標準的なアプリケーション

  • 化学真空
  • エネルギーアプリケーション
  • 工業用真空装置
  • 一般的な高精度圧力測定

仕様

1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ) 
シグナル範囲mA3.8 ... 20.2
計測範囲 (ゼロ ...FS)mA4.0 ... 20.0
現在の圧力の関係現在の圧力の関係linear
応答時間 ms≤100
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ) 
シグナル範囲mA3.8 ... 20.2
計測範囲 (ゼロ ...FS)mA4.0 ... 20.0
現在の圧力の関係現在の圧力の関係linear
応答時間 ms≤100
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ) 
シグナル範囲mA3.8 ... 20.2
計測範囲 (ゼロ ...FS)mA4.0 ... 20.0
現在の圧力の関係現在の圧力の関係linear
応答時間 ms≤100
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.25
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ) 
シグナル範囲mA3.8 ... 20.2
計測範囲 (ゼロ ...FS)mA4.0 ... 20.0
現在の圧力の関係現在の圧力の関係linear
応答時間 ms≤100
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.5
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ) 
シグナル範囲mA3.8 ... 20.2
計測範囲 (ゼロ ...FS)mA4.0 ... 20.0
現在の圧力の関係現在の圧力の関係linear
応答時間 ms≤100
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

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本製品は以下のマーケットで使用されています。
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