キャパシタンスマノメーター
SKY® CDG025D-X3
フルスケール 0.1~1000Torr / mbar
ドロップインオプション
バキュームゲージに革命を起こしましょう!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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高精度な温度補償型マノメータのラインであるINFICON SKY CDG025Dキャパシタンスダイアフラムゲージは、厳しい製造装置環境で安定した性能を発揮するようデザインされています。高度なデジタル電子装置によって、ゲージ性能を強化し、ワンプッシュボタンでゼロ点設定、設定値調整など、容易に操作できる機能を提供します。耐腐食性に優れた高純度セラミックセンサは優れたゼロ点の安定と、空気圧変化によるバーストを含む数百万回のプレッシャーサイクルを予期した上での長い寿命を提供します。このユニークなセンサシールド(特許申請中)がゲージをプロセス汚染から守ります。ロバストな機械デザインとデジタル電子工学が、EMC互換性、長期安定性と温度制御を向上させました。CDG025Dは、電源起動後のすばやい安定化と、大気圧からのすばやい回復に関して、新たな基準を定めました。
利点
- 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
- 電源投入後にすばやく安定
- 空気圧からのすばやい回復
- 耐腐食性に優れたセラミックセンサー
- 優れた長期信号安定性
- 温度補正済み
- 汚染からのセンサーを二重に保護
- ワンプッシュボタンでゼロ点設定
- 広範囲の電源
- 2点のセットポイント
- RS232インターフェース
- クリーンルームに準拠
標準的なアプリケーション
- エッチング、CVD、PVD、ALD半導体製造装置
- データストレージおよびディスプレイ製造装置
- 工業用真空装置
- 一般的な高精度圧力測定
仕様
1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
精度 | % of reading | 0.2 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 30 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.2 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 30 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.2 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 30 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.25 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 130 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.5 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 130 / 30 (3) |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
ダウンロード
データシート
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr/mbar Prozessmessröhre DE
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データシート
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr / mbar process gauge
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英語版
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データシート
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... Calibre de proceso 1000 Torr / mbar
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スペイン語
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データシート
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1,000 Torr/mbar 공정 게이지 KO
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データシート
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计 ZH
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中国語
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データシート
SKY® CDG025D-X3 0.1 ...1000 Torr / mbar プロセスゲージ JA
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日本語
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データシート
取扱説明書
Manual CDG025D-X3 EN
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英語版
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
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ドイツ語
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取扱説明書
Gebrauchsanleitung CDG025D-X3 DE
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ドイツ語
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取扱説明書
Manual CDG025D-X3 ZH
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中国語
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取扱説明書
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CDG025D 16CF
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CDG025D 16KF
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3Dファイル
CDG025D 4VCRf
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3Dファイル
CDG025D 4VCRmale
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3Dファイル
CDG025D 8VCR
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CDG025D tube
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