ピラニゲージ

PPG550

大気圧~中容量真空計

Pirani-PPG570

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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新しいINFICONのピラニ・ピエゾコンビネーションゲージ(PPG550)は、最も進んだMEMS(Microelctromechanical Systems)センサ技術に基づくものです。 

MEMSプロセスで小型化されたピラニ/ピエゾコンビネーション技術は、非常に小さく、したがって省スペースなセンサの構築を可能にし、計測装置の全高を非常に小さく保つことを可能にします。 

また、MEMS技術を用いたピラニでは、高さが低いというメリットに加え、従来のピラニよりもHV領域でより深く、より正確に測定できるというメリットもある。同じフランジに取り付けられたMEMSピエゾセンサーとの組み合わせにより、ピラニゲージは真の真空ワイドレンジゲージとなり、測定範囲は通常の1000mbarをはるかに超え、大気圧まで広がります。同時に、MEMSピエゾセンサーは、ガス種に依存しない2 ...1333mbarの範囲でガス種に依存しない圧力測定が可能です。また、これらの技術により、加速度や振動に対する耐性が向上していることも大きな特長です。 

最後になりましたが、新しいINFICON PPG550はMKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducer" やMKS925 "Micro Pirani™ Vacuum Pressure Transducer" と同様に
、直接ドロップインで交換することが可能です。インフィコンは、同じコネクタ/ピン配置、アナログ出力、RS232/485の互換性を提供します。

利点

  • 2mbar以上でガス種に依存せず、あらゆる混合ガスで安全なベントが可能 
  • 大気圧での高い精度と再現性 信頼性の高い高速な大気圧検出 
  • マウント方向が多彩で、
  • ツール設計に自由度を提供 
  • デジタルインターフェース RS232/RS485 
  • 準拠と標準規格。
  • CE、EN、UL、CSA、RoHS 
  • MKS910「DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducer」およびMKS925「Micro Pirani™ Vacuum Transducer」と
  • 直接交換することが可能です。
  • DualTrans™ MicroPirani™は、MKS Instruments, Andover, MA の登録商標です。 
  • コンプライアンスと規格CE、EN、UL、CSA、RoHS

標準的なアプリケーション

  • 分析装置/質量分析計での使用 
  • 物理蒸着法 
  • 前行程測定 
  • ガスバック充填

仕様

Measurement range (N2)mbar1x10-6 … 1333
   
Accuracy  
100 ... 1333 mbar% of reading0.5
800 ... 1099 mbar% of reading0.25
100 ... 800 mbar% of reading0.5
2 ... 99.9 mbar% of reading1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar% of reading5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar% of reading25
   
Temperature compensation°C+10 … +50
   
Temperature measurement absolute accuracy°C+/-1.5 (0 … +80)
   
Supply voltage at the gaugeV (dc)+12 … 30
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

ソフトウエアのダウンロード

INFICON Communicator V1.0

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2. ソフトウェアのダウンロード方法を記載したメールを受信する。

本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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モビリティ&オートモーティブ

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研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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