ピラニゲージ
PCG55x
中真空計用のPCG55X ATM
ドロップインオプション
バキュームゲージに革命を起こしましょう！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
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INFICONピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ（PCG55x）は、特許取得のINFICONセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニゲージの利点をひとつに統合した製品です。
10 mbarから大気圧までの計測範囲で、このキャパシタンスダイアフラム技術はガス種に依存しない高精度で信頼のできる圧力計測を実現します。また、PCG55xには、要求された用途に適した製品構成を可能にする、様々な機能も備わっています。
利点
- 10 mbar以下のガス種非依存性 – あらゆる混合ガスに安全なベントを行います
- 大気圧で高い精度と再現性 – 信頼できる大気圧検知
- さまざまな方向で取り付け可能 ; ツール設計における開発の自由度が向上
- 腐食が起こりやすいアプリケーションに対し、タングステン（PCG550）、ニッケル（PCG552）フィラメントまたは完全セラミックコーティング（PCG554）センサーユニットが選択可能
- Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- 交換が容易なプラグアンドプレイセンサーエレメントとオンボード較正データ – 高い再現性と所有コスト減を保証
- 選択可能な出力信号により統合が容易
- オプションの大気圧スイッチ、ディスプレイとデジタルインターフェース
- CE、EN、UL、CSA、RoHSに準拠、基準に適合
標準的なアプリケーション
- ロードロック制御
- 真空圧の計測
- 真空システム内の安全回路
- 一般的な真空計測と低～中真空領域の圧力制御
仕様
PCG550 Tungsten
PCG552 Nickel
PCG554 ceramic coated
| Measurement range | mbar Torr | 5×10-5 … 1500 3.8×10-5 … 1125 |
| Accuracy (N2) | ||
| 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) | % of reading | ±50 |
| 1×10-3 … 100 mbar (N2) | % of reading | ±15 |
| 100 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
| Repeatability | ||
| 1×10-3 … 1100 mbar (N2) | % of reading | ±2 |
| Admissible temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | +10 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +65 |
| Bakeout at flange | °C | ≤80 |
| Bakeout at flange long tube | °C | ≤250 |
| Supply voltage | V (dc) | +15 … +30 |
| Setpoint relay | ||
| Number of setpoints | 2 | |
| Range (N2) | mbar | 5×10-5 … 1000 |
| Relay contact | Relay contact | n.o., potential free |
| Hysteresis | % of threshold | 10 |
| Contact rating solid state relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤0.3 |
| Contact rating mechanical relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤1 |
| Switching time | ms | ≤30 |
| Materials exposed to vacuum | W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass | |
| Measurement range | mbar Torr | 5×10-5 … 1500 3.8×10-5 … 1125 |
| Accuracy (N2) | ||
| 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) | % of reading | ±50 |
| 1×10-3 … 100 mbar (N2) | % of reading | ±15 |
| 100 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
| Repeatability | ||
| 1×10-3 … 1100 mbar (N2) | % of reading | ±2 |
| Admissible temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | +10 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +65 |
| Bakeout at flange | °C | ≤80 |
| Bakeout at flange long tube | °C | ≤250 |
| Supply voltage | V (dc) | +15 … +30 |
| Setpoint relay | ||
| Number of setpoints | 2 | |
| Range (N2) | mbar | 5×10-5 … 1000 |
| Relay contact | Relay contact | n.o., potential free |
| Hysteresis | % of threshold | 10 |
| Contact rating solid state relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤0.3 |
| Contact rating mechanical relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤1 |
| Switching time | ms | ≤30 |
| Materials exposed to vacuum | Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass | |
| Measurement range | mbar Torr | 5×10-5 … 1500 3.8×10-5 … 1125 |
| Accuracy (N2) | ||
| 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) | % of reading | ±50 |
| 1×10-3 … 100 mbar (N2) | % of reading | ±15 |
| 100 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
| Repeatability | ||
| 1×10-3 … 1100 mbar (N2) | % of reading | ±2 |
| Admissible temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | +10 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +65 |
| Bakeout at flange | °C | ≤80 |
| Bakeout at flange long tube | °C | ≤250 |
| Supply voltage | V (dc) | +15 … +30 |
| Setpoint relay | ||
| Number of setpoints | 2 | |
| Range (N2) | mbar | 5×10-5 … 1000 |
| Relay contact | Relay contact | n.o., potential free |
| Hysteresis | % of threshold | 10 |
| Contact rating solid state relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤0.3 |
| Contact rating mechanical relays | V (dc) A (dc) | ≤30 ≤1 |
| Switching time | ms | ≤30 |
| Materials exposed to vacuum | Al2O3, stainless steel | |
アクセサリー
スペアパーツ
| PCG550 Tungsten | |
| Part Number | Description |
| 211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
| 350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
|
| PCG552 Nickel | |
| Part Number | Description |
| 211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
| 350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
|
| PCG554 ceramic coated | |
| Part Number | Description |
| 211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
| 350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
|
| PCG550 Tungsten | |
| Part Number | Description |
| 211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF
|
| PCG552 Nickel | |
| Part Number | Description |
| 211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF
|
| PCG554 ceramic coated | |
| Part Number | Description |
| 211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF
|
| PCG550 Tungsten | |
| Part Number | Description |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3)
|
| PCG552 Nickel | |
| Part Number | Description |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3)
|
| PCG554 ceramic coated | |
| Part Number | Description |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
| PCG550 Tungsten | |
| Part Number | Description |
| 357-925 | PCG550 Spare Sensor, DN16ISO-KF |
| 357-926 | PCG550 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long |
| 357-927 | PCG550 Spare Sensor, DN16CF-F |
| 357-928 | PCG550 Spare Sensor, DN16CF-R, long |
| 357-929 | PCG550 Spare Sensor, DN25ISO-KF |
| 357-930 | PCG550 Spare Sensor, 1/8" NPT |
| 357-931 | PCG550 Spare Sensor, 8-VCR |
| 357-932 | PCG550 Spare Sensor, 4-VCR |
| 357-933 | PCG550 Spare Sensor, 7/16-20 UNF |
| 357-934 | PCG550 Spare Sensor, 29x29mm |
| 357-935 | PCG550 Spare Sensor, 4-VCR / 90°
|
| PCG552 Nickel | |
| Part Number | Description |
| 357-936 | PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF |
| 357-937 | PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long |
| 357-938 | PCG552 Spare Sensor, DN16CF-F |
| 357-939 | PCG552 Spare Sensor, DN16CF-R, long |
| 357-941 | PCG552 Spare Sensor, 1/8" NPT |
| 357-942 | PCG552 Spare Sensor, 8-VCR |
| 357-943 | PCG552 Spare Sensor, 4-VCR |
| 357-944 | PCG552 Spare Sensor, 7/16-20 UNF |
| 357-945 | PCG552 Spare Sensor, 29x29mm |
| 357-946 | PCG552 Spare Sensor, 4-VCR / 90°
|
| PCG554 ceramic coated | |
| Part Number | Description |
| 357-947 | PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF |
| 357-948 | PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long |
| 357-949 | PCG554 Spare Sensor, DN16CF-F |
| 357-950 | PCG554 Spare Sensor, DN16CF-R, long |
| 357-951 | PCG554 Spare Sensor, DN25ISO-KF |
| 357-952 | PCG554 Spare Sensor, 1/8" NPT |
| 357-953 | PCG554 Spare Sensor, 8-VCR |
| 357-954 | PCG554 Spare Sensor, 4-VCR |
| 357-955 | PCG554 Spare Sensor, 7/16-20 UNF |
| 357-956 | PCG554 Spare Sensor, 29x29mm |
| 357-957 | PCG554 Spare Sensor, 4-VCR / 90° |
品番
ダウンロード
パンフレット
取扱説明書
TINA56D1_PxG55x_Gebrauchsanleitung
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1,9 MB
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ドイツ語
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取扱説明書
PCG55x Operating manual
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1,8 MB
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英語版
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取扱説明書
PxG55x Communication Protocol PROFIBUS
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738,1 KB
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英語版
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取扱説明書
PxG55x Communication Protocol DeviceNet
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474,3 KB
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取扱説明書
PxG55x Communication Protocol EtherCat
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493,0 KB
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英語版
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取扱説明書
PxG55x Communication Protocol EtherCAT, New Generation
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2,6 MB
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英語版
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取扱説明書
PxG55x Communication Protocol RS232c RS485c
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177,9 KB
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英語版
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取扱説明書
TIRB72E1_PxG55x_Communication Protocol PROFINET
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1,6 MB
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英語版
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取扱説明書
3Dファイル
MPCG55x_15DSub_8VCR
stp
•
1,8 MB
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3Dファイル
MPCG55x_15DsubHD_RS485_4VCR.stp
stp
•
1,8 MB
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3Dファイル
MPCG55x_Plug_RS485_16KF.stp
stp
•
1,7 MB
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3Dファイル
MPCG55x_Plug_RS485_8VCR.stp
stp
•
1,9 MB
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3Dファイル
PCG55x_15DSub_25KF
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1,7 MB
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PCG55x_9DSub_DNet_8VCR (1).stp
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2,1 MB
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PCG55x_9DSub_ECAT_25KF.stp
stp
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5,1 MB
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PxG55x_15DSub_16CF
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280,5 KB
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PxG55x_15DSub_16KF
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PxG55x_15DSub_4VCR
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PxG55x_15DSub_DNet_16CF
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PxG55x_15DSub_DNet_16KF
zip
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308,2 KB
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PxG55x_15DSub_DNet_4VCR
zip
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314,6 KB
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PxG55x_15DSub_PBus_16CF
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330,5 KB
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3Dファイル
PxG55x_15DSub_PBus_16KF
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324,9 KB
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PxG55x_15DSub_PBus_4VCR
zip
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331,4 KB
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PxG55x_9DSub_16CF
zip
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256,7 KB
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PxG55x_9DSub_16K_long
zip
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297,4 KB
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PxG55x_9DSub_16KF
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PxG55x_9DSub_25KF
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251,5 KB
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PxG55x_9DSub_29x29
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214,5 KB
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PxG55x_9DSub_4VCR
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257,5 KB
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PxG55x_9DSub_4VCR_90
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214,3 KB
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PxG55x_9DSub_8VCR
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255,8 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_DNet_16CF
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287,8 KB
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PxG55x_9DSub_DNet_16KF
zip
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282,3 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_DNet_25KF
zip
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298,5 KB
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PxG55x_9DSub_DNet_4VCR
stp
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2,1 MB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_EtherCAT_16CF
zip
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349,0 KB
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PxG55x_9DSub_EtherCAT_16KF
zip
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344,2 KB
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PxG55x_9DSub_EtherCAT_4VCR
zip
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350,3 KB
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PxG55x_9DSub_PBus_16CF
zip
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305,0 KB
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PxG55x_9DSub_PBus_16KF
zip
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299,4 KB
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PxG55x_9DSub_PBus_25KF
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PxG55x_9DSub_PBus_4VCR
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305,8 KB
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PxG55x_FCC_16CF
zip
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PxG55x_FCC_16KF
zip
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PxG55x_FCC_25KF
zip
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198,9 KB
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PxG55x_FCC_29x29
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172,0 KB
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PxG55x_FCC_4VCR
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205,2 KB
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PxG55x_FCC_4VCR_90
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175,9 KB
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PxG55x_FCC_DNet_16CF
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236,8 KB
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PxG55x_FCC_DNet_16KF
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231,2 KB
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PxG55x_FCC_DNet_4VCR
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237,7 KB
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PxG55x_FCC_PBus_16CF
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253,8 KB
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PxG55x_FCC_PBus_16KF
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248,2 KB
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PxG55x_FCC_PBus_4VCR
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254,7 KB
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その他
EtherCAT new generation ESI file PCG with ATM switch V1_3_0_0.xml
xml
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188,0 KB
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英語版
EtherCAT new generation ESI file PCG V1_3_0_0.xml
xml
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162,5 KB
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英語版
GSDML-V2.35-INFICON_AG-PressureGauge
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5,6 KB
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•
証明書
EtherCAT ESI file PCG ATM V1_2_1_0
xml
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834,4 KB
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英語版
EtherCAT ESI file PCG V1_2_1_0
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737,1 KB
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PCG55X-PC19 Int.eds
eds
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63,5 KB
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英語版
PCG55X-PC19 Real.eds
eds
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63,6 KB
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英語版
PCG55X-PC20 Int.eds
eds
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77,7 KB
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英語版
PCG55X-PC20 Real.eds
eds
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77,7 KB
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英語版
PxG_0C85.GSD
GSD
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5,0 KB
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英語版
Volume_V10112
zip
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251,2 MB
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英語版
