ホットイオンゲージ

HPG400

高真空計用HPG400 ATM

HPG400
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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONの高圧熱陰極ピラニゲージ、HPG400は、高圧熱陰極とピラニセンサを1台のコンパクトで経済的なパッケージにまとめ、2×10-6 mbar~大気圧(1.5×10-6 Torr~大気圧)までの圧力を計測できます。HPG400は正確なスパッタリングプロセス圧力コントロールを行うために、繰り返しおよび再現可能な圧力計測を提供します。

利点

  • HPG400はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
  • 高圧熱陰極電離ゲージは、1×10-5 … 1 mbarまでの圧力を、向上したプロセスコントロールによって計測し、正確で信頼できる結果を達成
  • 5×10-2と1 mbarの間でユーザーが選べる熱陰極電離放出のアクチベーション
  • ピラニインターロック機構により、熱フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
  • オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
  • 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
  • RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

  • 半導体製造、電子部品、メディア産業におけるスパッタ装置
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低真空から高真空領域のコントロール

仕様

Measurement range (air, N2)mbar
Torr
2×10-6 … 1000
1.5×10-6 … 750
   
Accuracy  
10-5 … 1 mbar% of reading±15 (1)
   
Repeatability  
10-5 … 10-1 mbar% of reading2
10-1 … 100 mbar% of reading30
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange°C80
Bakeout electronics removed°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
20 … 28
0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
   
(1) Accuracy from 10-5 mbar to the selected hot ion emission on value
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
アクセサリー
スペアパーツ
Part NumberDescription
353-520HPG400 DN 25 ISO-KF
353-521HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-522HPG400 DN 40 CF-F
353-523HPG400 LCD, DN 40 CF-F
353-525HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-526HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF
353-528HPG400-SD DNet DN 40 CF-F
Part NumberDescription
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
353-511Power supply BPG400 24VDC
357-499Baffle HPG (10 pieces)
Part NumberDescription
354-487Spare sensor head HPG400, DN 25 ISO-KF
354-488Spare sensor head HPG400, DN 40 CF-F

ダウンロード

本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

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エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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半導体IDM&ファウンドリ

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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