冷陰極ゲージ

Gemini™ MxG5xx

超高真空計用のGEMINI™ MXG5XX ATM

ドロップインオプション

バキュームゲージに革命を起こしましょう！

INFICON Gemini™ 逆マグネトロン真空計は、すべての真空計測用途向けの主力製品です（特許申請中）。大気圧から 1x10 – 9 mbar を計測できるように、Gemini逆マグネトロン真空ゲージは2つのセンサーシステムを1台の小型装置に結合します。特許を受けた超低磁気漂遊フィールド設計は、アプリケーションの全く新しい範囲を開きます。その独自の交換可能なデュアルチャンバーセンサーユニットはクリーニングサイクルを避けて、メンテナンスを減らします。そして、Geminiをその種類で最も強力で経済的な真空計にします。

Gemini冷陰極と組み合わせは、完全に統合したデジタル電子機器で、究極の柔軟性をシステム統合に提供します。オプションのGemini冷陰極とピラニの組み合わせは、幅広い範囲のアプリケーションで、シームレスな移行、信頼性、実用性と柔軟性を提供します。

利点

Long lifetime in harsh environments
厳しい環境下でも長寿命を実現
磁気漂遊フィールドは発生しない
メンテナンスフリー - 交換可能なインサート
超小型設計
耐腐食性に優れたフィードスルー
選択可能な測定電流
2 relay setpoints (in conjunction with MxG55x EtherCAT Version)
EtherCAT and RS232/ RS485 digital interace

標準的なアプリケーション

蒸着とスパッタリング用途において、大気圧から高真空度まで基準気圧の監視と制御
一般的な真空計測 – 工業用炉、建築用ガラス、半導体、冷却、空調
研究開発と分析的アプリケーション – 質量分析、電子顕微鏡、医療、眼科、光学、高エネルギー物理学。

仕様

MAG5xx

MPG5xx

測定範囲（空気、窒素）	mbar Torr	1×10^-9 … 1×10^-2 (7.6×10^-10 … 7.6×10^-3)

精度（窒素）
1×10^-8 … 1×10^-2mbar	% of reading	30
1×10-2 … 100 mbar	% of reading	-
100 ～ 1000 mbar	% of reading	-

再現性 (N₂)
1×10^-8 … 1×10^-2 mbar	% of reading	5
1×10^-8 … 100 mbar	% of reading	-

許容温度
使用温度 (周囲)	°C	+5 ... +55
ベークアウト (フランジにおいて) (1)	°C	<150
保存	°C	-40 ... +70
フィラメント温度	°C	-

供給電圧
ゲージ位置 (2)	V (dc)	+14.5 ... +30
リップル	V (p-p)	<1
電力消費量	W	<2
接続するヒューズ	AT	<1

(1) 電子回路なし。 (2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。

測定範囲（空気、窒素）	mbar Torr	(7.6×10^-10 … 760) 1×10^-9 … 1000

精度（窒素）
1×10^-8 … 1×10^-2mbar	% of reading	30
1×10-2 … 100 mbar	% of reading	30
100 ～ 1000 mbar	% of reading	50

再現性 (N₂)
1×10^-8 … 1×10^-2 mbar	% of reading	-
1×10^-8 … 100 mbar	% of reading	5

許容温度
使用温度 (周囲)	°C	+5 ... +55
ベークアウト (フランジにおいて) (1)	°C	<150
保存	°C	-40 ... +70
フィラメント温度	°C	120

供給電圧
ゲージ位置 (2)	V (dc)	+14.5 ... +30
リップル	V (p-p)	<1
電力消費量	W	<=3
接続するヒューズ	AT	<1

(1) 電子回路なし。 (2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

アクセサリー

スペアパーツ

MAG5xx
Part Number	Description
211-098	Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550	MxG50x Ignition tool set
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512	Baffle for BPG400
MPG5xx
Part Number	Description
211-098	Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550	MxG50x Ignition tool set
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512	Baffle for BPG400

MAG5xx
Part Number	Description
351-500	MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-556	Spare ion chamber ti
351-512	MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-536	MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-524	MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-502	MAG500 spare sensor, 25KF, TI
351-514	MAG500 spare sensor, 40KF, TI
351-538	MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-526	MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-501	MAG504 spare sensor, 25KF, SS
351-513	MAG504 spare sensor, 40KF, SS
351-537	MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-525	MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-503	MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-515	MAG504 spare sensor, 40KF, TI
351-539	MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-527	MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995	MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555	Spare ion chamber ss
MPG5xx
Part Number	Description
351-506	MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-518	MPG500 spare sensor, 40KF, SS
351-542	MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-530	MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-508	MPG500 spare sensor, 25KF, TI
351-520	MPG500 spare sensor, 40KF, TI
351-544	MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-532	MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-507	MPG504 SS,LC,9DSub,25KF
351-519	MPG504 spare sensor, 40KF, SS
351-543	MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-531	MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-509	MPG504 spare sensor, 25KF, TI
351-521	MPG504 spare sensor, 40KF, TI
351-545	MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-533	MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995	MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555	Spare ion chamber ss
351-556	Spare ion chamber ti