キャパシタンスマノメーター

Edge® CDG100D2

100℃温度制御、フルスケール 1 ... 1000 Torr / mbar

ドロップインオプション

バキュームゲージに革命を起こしましょう！

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INFICON Edgeキャパシタンスダイアフラムゲージは高精度の真空計で、過酷な製造環境でも使用できるよう設計されています。実績のある、温度制御、耐食性、超高純度のセラミックセンサは、数年にわたる長期間の安定性と、最先端の零点安定性を実現します。エッジには、INFICONで、計器を望ましくないプロセスの副産物から保護する特許を受けた独自のセンサシールドが付いています。最新の電子機器は、すべてのアプリケーションに広範囲にわたって構成可能な信号条件付けと、オプションのEtherCATフィールドバスインターフェースが付いています。革新的な加熱コンセプトによって、タッチ面の冷却を可能にし、貴重なツールスペースを節約します。INFICON Edgeは、この種の中で最も小さい真空計です。

利点

コンパクトで、貴重なツールスペースを節約
統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイント
簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
CE、EN、UL、SEMI、RoHSに準拠、基準に適合

標準的なアプリケーション

CVD、エッチング、PVDと他の半導体製造プロセス

仕様

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.15

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	30

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.15

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	30

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

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パンフレット

Brochure Vacuum Instrumentation with EtherCAT

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データシート

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar DE

pdf • 575,7 KB • ドイツ語 • データシート

Edge® CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar

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Edge CDG100D2 1 … 1000Torr/mbar KO

pdf • 621,3 KB • 韓国語 • データシート

Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴 ZH

pdf • 732,5 KB • 中国語 • データシート

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar

pdf • 616,1 KB • スペイン語 • データシート

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar JA

pdf • 733,2 KB • 日本語 • データシート

寸法図

CDG100D2 dimension drawing

png • 224,7 KB • ドイツ語, 日本語, 韓国語, スペイン語, 中国語, 英語版 • 寸法図

取扱説明書

Communication protocol EtherCAT new generation

pdf • 2,1 MB • 英語版 • 取扱説明書

CDGxxxD Communication manual RS232C

pdf • 187,4 KB • 英語版 • 取扱説明書

CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • ドイツ語 • 取扱説明書

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • 英語版 • 取扱説明書

Gebrauchsanleitung Edge CDG045D2 CDG100D2 DE

pdf • 766,1 KB • ドイツ語 • 取扱説明書

Manual Edge CDG045D2 CDG100D2

pdf • 758,2 KB • 英語版 • 取扱説明書

Manual Edge CDG045D2 CDG100D2 CN

pdf • 952,7 KB • 中国語 • 取扱説明書

3D Step Files

CDG100D2_9DSUB_4-VCR male

stp • 5,5 MB • 3Dファイル

CDG100D2_9DSUB_4-VCR female

stp • 5,4 MB • 3Dファイル

CDG100D2_4VCR female_ECAT_II

stp • 1,5 MB • 3Dファイル

CDG100D2_9DSUB_16KF

stp • 5,4 MB • 3Dファイル

CDG100D2_9DSUB_16CF

stp • 5,4 MB • 3Dファイル

CDG100D2_9DSUB_tube

stp • 5,4 MB • 3Dファイル

CDG100D2_9DSUB_8-VCR female

stp • 5,4 MB • 3Dファイル

CDG100D2_4-VCR female

stp • 2,7 MB • 3Dファイル

CDG100D2_4-VCR male

stp • 2,8 MB • 3Dファイル

CDG100D2_4-VCR male_ECAT_II

stp • 11,0 MB • 3Dファイル

Edge CDGxxxD2 16CF

zip • 477,0 KB • 3Dファイル

Edge CDGxxxD2 16CF EtherCAT

stp • 1,5 MB • 3Dファイル

Edge CDGxxxD2 16KF

zip • 471,5 KB • 3Dファイル

Edge CDGxxxD2 16KF EtherCAT

stp • 1,4 MB • 3Dファイル

Edge CDGxxxD2 8VCR

zip • 480,8 KB • 3Dファイル

Edge CDGxxxD2 8VCR EtherCAT

stp • 1,5 MB • 3Dファイル

Edge CDGxxxD2 tube

zip • 470,5 KB • 3Dファイル

その他

EtherCAT new generation ESI file CDG V2_0_0_0

zip • 10,5 KB • 日本語, 英語版

EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0

xml • 1,3 MB • 英語版

本製品は以下のマーケットで使用されています。

Analytical-Instrumentation-Navi

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Display-Navi

ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

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energy-market-navi

エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2

産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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Mobility_and_Automotive-Navi

モビリティ＆オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現。自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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Pharma_and_Medical-Navi

製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

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Research-and-Academia-Navi

研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi

半導体IDM＆ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

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Vacuum_Coating-Navi

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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