キャパシタンスマノメーター
Edge® CDG025D2
フルスケール 0.1～1000Torr / mbar
ドロップインオプション
バキュームゲージに革命を起こしましょう！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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EtherCATキャパシタンスダイアフラムゲージ付きのINFICON温度制御エッジCDG025D2は高精度の真空計で、過酷な製造環境でも使用できるよう設計されています。
実績のある、温度制御、耐食性、超高純度のセラミックセンサは、数年にわたる長期間の安定性と、最先端の零点安定性を実現します。エッジには、INFICONで、計器を望ましくないプロセスの副産物から保護する特許を受けたユニークなセンサシールドが付いています。最新の電子機器は、すべてのアプリケーションに広範囲にわたって構成可能な信号条件を提供しており、オプションのEtherCATフィールドバスインターフェースが付いています。
利点
- 簡単な統合、EtherCAT、幅広いフルスケール、フランジ、標準モデルは2点のセットポイント付き
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
- 耐腐食性セラミックセンサ
- 優れた長期安定信号
- 温度補正済み
- 汚染からセンサを保護
- 適合と規格：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
標準的なアプリケーション
- エッチング、PVDと他の半導体製造プロセス
- データストレージおよびディスプレイ製造装置
- 工業用真空装置
- 一般真空圧力高精度測定
仕様
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr / mbar
0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 30 |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 30 |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 30 |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.25 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 130 |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.5 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 130 / 30 (3) |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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パンフレット
データシート
Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar DE
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Edge™ CDG025D2 mit EtherCAT 0.1 … 1000Torr / mbar DE
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Edge® CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000Torr / mbar
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Edge™ CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000Torr / mbar ES
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Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000Torr/mbar KO
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データシート
Edge CDG045D2 1 … 1000 托 / 毫巴 ZH
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データシート
Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴 ZH
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データシート
Edge™ CDG025D2 EtherCAT 付き 0.1 … 1000Torr / mbar JA
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データシート
取扱説明書
Manual Edge CDG025D2 with EtherCAT DE
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ドイツ語
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取扱説明書
Manual Edge CDG025D2 with EtherCAT
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英語版
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取扱説明書
Communication protocol EtherCAT
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英語版
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取扱説明書
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
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ドイツ語
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取扱説明書
CDGxxxD Communication manual RS232C
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取扱説明書
Communication protocol EtherCAT new generation
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英語版
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取扱説明書
3D Step Files
