BPG402-Sx

INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10^-10から大気圧(3.8×10^-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。テクノロジーを組合せることによってインストール、セットアップ、統合の複雑さを軽減しました。経済的なパッケージ1台で基準気圧計測ができ、手頃に再現性あるプロセスを実現する、2本の酸化イットリウムコーティングのイリジウムフラメントを備えたBPG402-Sをお選びください。センサ部にオンボード校正データが含まれていることにより、交換時の高い再現性が保証されます。

利点

5×10^-10 mbar～大気圧(3.8×10^-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測
優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10^-8 … 10^-2 mbarで5%
ピラニインターロック機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
交換が容易なセンサー部と、オンボード較正データにより高い再現性を保証
RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
工業用コーティング
一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

仕様

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr	5×10^-10 … 1000 3.8×10^-10 … 750

Accuracy

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	±15

Repeatability

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange without electronics BPG402-S	°C	80
Bakeout at flange without electronics BPG402-SL	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	+20 … +28 ≤0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

アクセサリー

スペアパーツ

Part Number	Description
353-570	BPG402-S DN 25 ISO-KF
353-571	BPG402-S DN 40 CF-R
353-572	BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF
353-573	BPG402-S LCD, DN 40 CF-R
353-578	BPG402-SL long tube DN 40 CF-R
353-574	BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-575	BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R
353-576	BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-577	BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R
353-590	BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591	BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596	BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597	BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R