ホットイオンゲージ

BAG302

中~超高真空計

Pirani-BAG302

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONシングルベアード-アルパート熱陰極電離真空計BAG302は、1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)の広い測定範囲をカバーしています。コンパクトなオールインワン式の熱陰極電離ゲージBAG302は、交換の容易なデュアルフィラメントセンサ、内蔵のOLEDディスプレイ、セットポイントリレー機能、対数-線形アナログ出力、および統合型RS485デジタルインターフェースで、統合の柔軟性を向上させています。これらの機能が堅牢なデザインにまとめられているので、BAG302は、入手しやすく、再現性の高いプロセスからベースの圧力測定装置となっており、高価値で所有コストの低い選択肢です。

利点

  • 測定範囲は1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)
  • 酸化イットリウムでコーティングされた、長寿命の2本のイリジウムフィラメントを標準装備
  • ディスプレイを内蔵し、セットポイント機能とアナログ出力を備え、統合型のRS485デジタルインターフェースを標準装備した、オールインワンアクティブゲージ
  • 明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドを装備しており、セットアップ、操作、プログラミングが容易
  • ユーザーがプログラム可能なセットポイントリレー
  • ユーザーが選択可能な表示単位。mbar、TorrまたはPa
  • ユーザーが選択可能な放出電流の自動レンジ設定
  • 機械的強度と堅牢さ
  • 様々なフランジのオプションを選択可能
  • センサーエレメントの交換が容易
  • コンプライアンスと規格: CE、RoHS
  • ほとんどのGranville-Phillips® 354 Micro-Ion®モジュールと直接交換可能。ソフトウェアコマンド(RS485)を含め、同一のコントロール機能があります。(Granville-Phillips®およびMicro-Ion®は、MKS Instruments, Andover, MAの登録商標です)

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

仕様

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
Pa
1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2
1 x 10-9 ... 5 x 10-2
1.3 x 10-7 ... 6.7
   
Accuracy (N2)  
1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar% of reading±15
1×10-8 … 5×10-2 Torr% of reading±15
   
Repeatability% of reading±5
   
Temperature°C+10 … +50
Operation (ambient)°C0 ... +40
Storage°C-40 ... +70
Bakeout at flange (sensor only, electrics removed)°C200
   
Supply voltageV (dc)+20 ... +28
   
Setpoint relay 1 (single-pole double-throw relay (SPDT))
1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

BAG302 Ordering information
BAG302 Ordering information
本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

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エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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モビリティ&オートモーティブ

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研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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真空成膜

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