抜取り検査サンプリングの進化

Metrology Sampling Optimizer（MSO）は、時間またはパーセンテージルールを使用して基準となる抜き取り検査のサンプリングを処理するように設計されています。基準サンプリングに加えて、イベントベースのサンプリングを処理するためのルールを設定することもできます。イベントルールは、リスクのあるロットが特定のツールダウンや品質イベント後にサンプリングされることを保証します。時間、パーセンテージ、イベントサンプリングのいずれの場合でも、MSOはサンプリングプランを最適化し、独立または加算サンプリングを防ぎます。この最適化により、すべてのサンプリングルールを満たすために必要なロットの数が最小化されます。

導入時の顧客との協力により、開発チームはアプリケーションを迅速に立上げることができます。

• サンプリングカバレッジダッシュボードの新機能により、製品リスクの迅速な調査と理解が可能
• UIの更新により、ルール管理が迅速かつ簡単に
• 新しいシナリオがコアロジックの更新にすみやかに追加され、顧客のニーズに応えます
• 自動調整サンプリングにより、工場のニーズに合わせたサンプリングの適応が可能

サンプリングプランの主な目的の1つは、どのツールもサンプリング不足にならないようにすることです。サンプリングカバレッジダッシュボードでの可視化のために、エンジニアがツールごとに許容されるリスクレベルを設定できる2つのパラメータが開発されました：

• リスクにあるロットの数 (LOT at Risk: LAR)
• リスクにあるウェーハの数 (Wafer at Risk: WAR)
• 検出までの時間 (Time To Detect)

これらの制限は、診断が容易な色（赤、黄、緑）を使用してダッシュボードに表示され、許容範囲外のツールやモジュールを強調表示します。ユーザーはサンプリング率を調整して、ツールが過少または過剰にサンプリングされないように可視化、する調整ことができます。

ルール設定UIを強化することによって、ルールの作成と編集のプロセスを簡素化することに焦点を当てています。大幅なデザイン変更により、クリーンで明確なレイアウトが実現されました。追加機能として、処理ステップと計測のリンクを簡単に検索できるようになりました。

以下のコアロジックの強化は、新しいサンプリングケースを処理するために開発されました：

タグ条件 – すべてのロットが処理ツールを通過するときにタグ付けされるわけではありません。一部のロットは計測ステップにレシピがないこともあります。他のロットは特定の製品やロットタイプであり、サンプリングしないようにすべきです。タグ条件機能は、ルール条件が満たされた場合にサンプリングすべきロットをシステムに通知します。

リンクされた計測 – ユーザーは、リンクされた計測ステップで指定のロットがタグ付けされることを保証できます。最も一般的な例は、前後の測定に対して指定ロットがタグ付けされることを保証することです。

MESアクション制限 – ルールに制限が追加され、ロットがサンプリングされ、計測データが受信されることを保証します。サンプリング条件が満たされず、MSOが測定するロットを見つけられない場合、これらの制限によりMSOはMESと連携して（例：ツールをオフラインにするなど）、工場がリスクを増加させ続けることを防ぎます。

FabGuard® FDCの統合による迅速な学習

MSOとFabGuard FDCの統合により、設備異常検出能力を迅速に向上させる能力が提供されます。設備異常が検出された場合、MSOは対応する検査工程で、異常検査結果が発生するかを学習するために強制検査します。悪い検査結果があったが故障検出信号がなかった場合、その情報はエンジニアリングに提供され、故障が検出されなかった理由を調査し、検出を強化すべくをアクションアイテム特定します。この2つの製品の組み合わせにより、独立しては不可能であった新しい学習が得られることになります。

スキャン結果と計測WIP管理に基づく自動調整サンプリング

MSOはスキャン結果に基づく自動調整サンプリング率の追加、および検査ステップでの検査能力制限シナリオに対するアクティブなWIPキュー管理を処理することで、さらに改善されていきます。