強化されたサイクルタイム
サイクルタイム計算に寄与するすべてのロットに対して、ECTは各状態遷移の詳細なステータスを秒単位で提供します。工場レベルのサイクルタイムから個々のサブ状態にまで掘り下げて、製品が待機中、保留中、ディスパッチされた、ブロックされた、または処理中の状態を確認することができます。
ECTは Cycle Time Analyzer (CTA) と完全に統合されており、動的サイクルタイムおよび完了したロットのサイクルタイムを調査するためのツールです。
主な特徴
ブロックされた設備やダウンした設備によるサイクルタイム影響を可視性を向上
従来FPSシステムでは、 Dynamic CTA および Finished Lot CTA は、サイクルタイムを処理時間、待機時間、および保持時間に分けて可視化してきました。ECTでは、サイクルタイムをさらに細分化し、新しい状態である「ディスパッチ済み」、「終了済み」、「ブロック済み」、「ツールダウン」を追加しました。
ディスパッチ済み は、ロットが選択/ディスパッチ/ツールに登録されてから処理が開始されるまでの時間です。
終了済み は、ロットの処理が終了してから、次のステップに移動/完了/追跡されるまでの時間です。
ブロック は、ロットが待機しているが、許可されたすべてのツールが即時にそのロットを処理できない状態を指し、理由としては、キュータイマー、レティクル、機差などによる一時的な抑制などが含まれます。
ツールダウン は、ロットが待機しているが、許可されたすべてのツールがダウンしている状態を指します。
サイクルタイム状態からサブ状態への掘り下げ
Enhanced Tool Performance (ETP) で E10 状態を詳細なサブ状態に分割するモデルに従って、ECTでもサイクルタイム状態を詳細なサブ状態に分割します。サイクルタイムのサブ状態の例は以下の通りです。
- 処理時間を、ロットの開始から最初のウェーハ、最初のウェーハから最後のウェーハ、最後のウェーハからロット終了までに分割
- 保留（ホールド）時間を保留グループごとに分割
- 待機時間を位置/輸送/自動化の状態ごとに分割（例えば、遠くにある、カートで輸送中、AMHSで輸送中、ツールの近くにあるなど）
- ツールダウンを未計画、計画済み、エンジニアリングの状態に分割
- ブロックをキュータイマー、レティクル、一時的な抑制などの理由ごとに分割
サブ状態を使用して後処理サイクルタイムを分析する例
ユーザーグループミーティングで最も人気のある話題の一つは、プロセス終了とアンロードの間の時間をどのように追跡するかについてでした。新しい ECT のサブ状態により、プロセス終了とアンロードの間の時間を細分化し、より詳細な分析が可能になりました。
シナリオ 1: プロセス終了 > ステップ完了 > キャリアアンロード
このシナリオでは、プロセス終了からステップ完了までの時間は「ポートに残っている状態で終了」サブ状態にまとめられます。ステップ完了からキャリアアンロードまでの時間は「前のツールのポートにある」サブ状態にまとめられます。「前のツールのポートにある」時間は次のステップの一部と見なされます。
キャリアがアンロードされるまで前のステップに関連する時間を延長することも考えましたが、これは「総ステップサイクルタイムはステップ完了からステップ完了まで」という一般的な仮定に反することになります。
シナリオ 2: プロセス終了 > キャリアアンロード > ステップ完了
このシナリオでは、プロセス終了からキャリアアンロードまでの時間は最初のシナリオと同様に「ポートに残っている状態で終了」サブ状態にまとめられます。その後、キャリアアンロードからステップ完了までの時間は「ツールからアンロード後に終了」サブ状態にまとめられます。これらのサブ状態はどちらも「終了済み」状態に属し、このステップのサイクルタイムの一部です。
