Transpector® CPXのご紹介: 業界をリードする性能と信頼性

半導体産業では、性能と精度が最も重要である。多くの製造プロセスでは、プロセスやチャンバーの状態をリアルタイムで把握できるRGAのようなin-situオンラインプロセスモニタリング機能が不足しています。その結果、計計画外の生産停止、結果のばらつき、長期的な信頼性に対する懸念に直面しています。

INFICON Transpector® CPX残留ガス分析計（RGA）は半導体製造業者が直面する現代の課題に取り組むために特別にデザインされています。リアルタイムで信頼できる実行可能なプロセスとチャンバーデータを提供することで、装置と製造ラインの責任者はスループットの最大化と、プロセスの歩留まり改善のための重要な決断を下すことができます。

Transpector CPXにより、半導体工場は、必要なデータを提供できない既存のシステムに頼る必要がなくなりました。以下は、このソリューションが現状を一変させる4つの方法です： 

1. スピードと感度： 業界をリードする測定速度と感度により、トランスペクターCPXは、極めて薄く均一な膜の成膜を必要とする原子層プロセスをモニターし、望ましくない変動を検出することができます。
2. リアルタイムのデータ精度： 自動キャリブレーションにより、長期にわたるデータの信頼性が保証されるため、環境の変化やツール間のばらつきに関係なく、プロセスモニタリングの精度を維持することができます。
3. 省スペース設計： 旧世代と比較してシステム容積を30%削減したTranspector CPXは、パフォーマンスを損なうことなく、スペースに制約のある環境にもシームレスに統合できます。
4. 柔軟性と汎用性： 設定可能なHexBlockインレットにより、最大3つの圧力インレットを使用でき、高圧プロセスを監視する場合でも、複雑なセットアップに柔軟性が必要な場合でも、さまざまなアプリケーションに適応します。

Transpector CPXのようなin-situオンラインプロセスモニタリングシステムを統合することにより、半導体メーカーは、より一貫性のある予測可能な結果を保証し、運用効率を高め、コストのかかる生産停止時間を削減することができます。生産ラインをコントロールし、コストのかかるミスを回避し、競争に勝ち残りましょう。