ホットイオンゲージ

PBR 260

ATMから超高真空熱陰極計へ

PBR-260
ドロップインオプション

バキュームゲージに革命を起こしましょう!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!

INFICON PBR 260は、1つのコンパクトなユニットで2つのゲージとして動作するコンビネーションゲージです。主要な計測原理はベイヤードアルパート原理による熱陰極ゲージで、ピラニ熱伝導計測原理によって完成されサポートされます。PBR 260ピラニ/ベイヤード-アルパート熱陰極コンビネーションゲージは、UHVレンジ(5×10-10)mbarから大気レンジ(1000mbar)まで測定できます。PBR 260の主な利点の1つは、技術の組み合わせ、等しいアナログ出力信号と使用される電気インターフェースのおかげで、他のメーカーのPBR 260ゲージとの互換性を低下させることです。その結果、設置、設定、プロセス統合がよりシンプルになります。PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert熱陰極コンビネーションゲージは、手頃な価格で信頼性の高いベース圧力測定ができる、市場で最も経済的なソリューションを提供します。

利点

  • PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert熱陰極コンビネーションゲージは、低真空から超高真空までの一般的な真空測定と制御を、たった一つのコンパクトな測定装置で実現します。
  • フランジサイズ DN 25 ISO-KF、DN 40 CF-R、DN 40 ISO-KF
  • 最大圧力は、不活性ガスおよび55℃以下の温度に適用されます。
  • プロセス範囲10-8 ... 10-2 mbarで高精度、優れた再現性
  • ピラニセンサーでON/OFFを自動制御するベイヤード・アルパートセンサーを採用
  • 長寿命の酸化イットリウムコート・イリジウムフィラメントを採用
  • RoHS指令対応


他社製PBR 260ピラニ/ベイヤードアルパート熱陰極ゲージとのドロップイン互換性あり

  • 品番IGG27000はPT R27000に適合します。  
  • 品番IGG27001はPT R27001と一致します。
  • 品番IGG27002はPT R27002に適合します。

標準的なアプリケーション

  • 半導体・分析プロセス環境での圧力測定全般
  • 光学、その他工業用コーティングプロセス

仕様

測定範囲 max.
測定範囲(最小
mbar
mbar
1000
5·10-10
ベークアウト温度°C150 (削除された電子機器)
精度:10-8~10-2mbar読書率15
繰り返し精度:10-8~10-2mbar読書率5
フィラメント(カソード) イットリウムオキサイドコートイリジウム
真空にさらされる材料 Cu,W, Glass, NiFe, Mo, St. steel, NiCr
最大圧力bar2
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
スペアパーツ
品番商品説明
IGG27000PBR 260 DN 25 ISO-KF
IGG27001PBR 260 DN 40 ISO-KF
IGG27002PBR 260 DN 40 CF-R
品番商品説明
IN846517-T Spare sensor head PBR 260, DN 25 ISO-KF
IN846518-TSpare sensor head PBR 260, DN 40 ISO-KF
IN846519-TSpare sensor head PBR 260, DN 40 CF-R

ダウンロード

本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

詳細はこちら
Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

詳細はこちら
Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

詳細はこちら
energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

詳細はこちら
Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

詳細はこちら
Mobility_and_Automotive-Navi
モビリティ&オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

詳細はこちら
Pharma_and_Medical-Navi
製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

詳細はこちら
Research-and-Academia-Navi
研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

詳細はこちら
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半導体IDM&ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

詳細はこちら
Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

詳細はこちら
ビデオコンテンツの許可が必要です
詳細情報