1. 金属セラミック接続2KV～10KV
Vacuum Feedthroughs

金属セラミック接続2KV～10KV

Metal-Ceramic-Connections-2kV-to-10kV

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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利点

  • 最高 400℃ で繰り返しベークされたハイグレードな材料
  • 2011/65/EU RoHS 準拠

仕様

3 kV
2 kV
5 kV
10 kV
タイプ 3 kV
電圧 (1) 3 kV
インシュレータ Al2O3
接続
aaFe-Ni
bbFe-Ni
ベークアウト温度°C400
真空気密性mbar•L/s5 x 10-11
重量kg0.005
（1）両側に大気圧がかかった場合の、空気および表面リークについてはVDC 0110に基づく。
<10-4 mbarの圧力では、最大で倍数2の因子までが許容される。
タイプ 2 kV
電圧 (1) 2 kV
インシュレータ Al2O3
接続 
aaFe-Ni
bbstainless steel, 304/1.4301
ベークアウト温度°C400
真空気密性mbar•L/s5 x 10-11
重量kg0.012
（1）両側に大気圧がかかった場合の、空気および表面リークについてはVDC 0110に基づく。 
<10-4 mbarの圧力では、最大で倍数2の因子までが許容される。 
タイプ 5 kV
電圧 (1) 5 kV
インシュレータ Al2O3
接続 
aaFe-Ni
bbstainless steel, 304/1.4301
ベークアウト温度°C400
真空気密性mbar•L/s5 x 10-11
重量kg0.025
（1）両側に大気圧がかかった場合の、空気および表面リークについてはVDC 0110に基づく。 
<10-4 mbarの圧力では、最大で倍数2の因子までが許容される。 
タイプ 10 kV
電圧 (1) 10 kV
インシュレータ Al2O3
接続 
aaFe-Ni
bbstainless steel, 304/1.4301
ベークアウト温度°C400
真空気密性mbar•L/s5 x 10-11
重量kg0.09
（1）両側に大気圧がかかった場合の、空気および表面リークについてはVDC 0110に基づく。 
<10-4 mbarの圧力では、最大で倍数2の因子までが許容される。 
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

パーツ番号

 パーツ番号内容
10 kV214-164UMK 112 Metal-ceramic
2 kV214-162UMK 006 Metal-ceramic
3 kV214-161UMK 002 Metal-ceramic
5 kV214-163UMK 106 Metal-ceramic
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