新 差動排気型RGA【Transpector APX】
11 9月 2025 | 16:00 - 17:00
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開催場所
オンライン
言語
日本語
スピーカー
柳田 和輝
期間
1時間
新 差動排気型RGA 【Transpector APX】
今回のインフィコン ウェビナーは、「新 差動排気型RGA Transpector APX」です。Transpector APXは半導体とディスプレイプロセス監視のための、市場をリードする残留ガス分析器（RGA）です。ALDやPECVDのようなパーティクルやコーティングが発生しやすい化合物に耐える様に設計されています。これにより、すべての重要なプロセス工程でデータポイントを取得するための継続的なモニタリングが可能です。さらにHexBlockインレットモジュールは、チャンバークリーンエンドポイント監視アプリケーションに不可欠な、腐食性ガスに対する耐性を持つINFICON独自のコーティングが施されています。今回は詳細とその活用事例をご紹介します。
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