キャパシタンスマノメーター

SKY® CDG100D

100℃温度制御、フルスケール 0.1 ... 1000 Torr / mbar

SKY-CDG-100D-160D-200D
ドロップインオプション

バキュームゲージに革命を起こしましょう!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!

INFICON SKY CDG100Dマノメータは高精度な総合圧力計測とコントロールにおいて最良の選択になるでしょう。CDG100Dゲージは100°Cに温度制御され、困難な半導体やプラズマプロセスにおいて優れた性能を発揮します。100mTorrから1000Torrまでのフルスケール範囲で、全共通のフランジタイプ、フィールドバスインターフェースも一緒に提供しており、0から10ボルトまで直線的にガス種に依存しない圧力信号を送ります。INFICONのキャパシタンスマノメーターは耐腐食性に優れた高純度のアルミナセラミックダイアフラムを使用しています。セラミックセンサの利点は信号がより安定していること、気圧からの早い回復、短いウォームアップ時間と驚くべき寿命です。INFICONのCDGは、困難な半導体、プラズマ、真空の用途に適した、高品質で費用効果の高い圧力センサです。

EtherCATデジタルインターフェース付きで今すぐ入手可能!

利点

  • 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
  • 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
  • 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
  • すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
  • 2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
  • 優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
  • CE、EN、UL、SEMI、RoHSに準拠、基準に適合

標準的なアプリケーション

  • エッチング、PVD、PVDと他の半導体製造プロセス
  • 化学物質を使用する腐食性の高温プロセス
  • ゲージ保護を要する一般的な薄膜と真空プロセス

仕様

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms30
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms30
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.4
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms130 / 30 (3)
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

ダウンロード