ホットイオンゲージ

Trigon® BPG552

大気圧～超高真空対応デュアルゲージ

ACADEMY

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超高真空(5x10^-10mbar)から大気圧(1000mbar)までの測定レンジを必要とするアプリケーションのために、Trigon®ファミリーはデュアルテクノロジーBPG552ゲージを用意しています。BPG552は、ベイヤードアルパートホットイオンセンサエレメントと従来の堅牢で信頼性の高いピラニセンサエレメントで構成されています。サポートされるベイヤードアルパートデュアルフィラメントは、優れた精度、再現性、長寿命を提供します。

VacXplor® Software

VacXplor® は当社のモジュール式ユーザーソフトウェアで、INFICON Trigon® ゲージでの経験を向上させるためにデザインされています。VacXplor® は統一されたインターフェース、ダイナミックなデータ視覚化、高度なカスタマイズオプションを提供し、インストールに管理者権限を必要としません。

VacXplor® をここからダウンロード

利点

デュアルゲージ（2つの検出素子）により、広い測定範囲、コスト削減、省スペース化を実現
ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
フィラメントの早期焼損を防ぐピラニインターロック保護機能
ピラニセンサーの高真空側自動調整機能により、オペレーターの介入を低減
ガルバニック絶縁エレクトロニクスで迷走電流を回避
エミッションストリーム切り替え時の圧力ジャンプやフリーズを防ぐスライディングエミッションモード
取り外し可能な校正データチップによるベーク可能時間の延長
セットポイントリレー
ユーザーインターフェースを備えた明るく大きなOLEDディスプレイ（90°回転可能）
アナログ出力、RS232Cシリアルインターフェース、EtherCAT®対応
VGC50xコントローラシリーズと併用可能
BPG402との下位互換性
RoHS対応

標準的なアプリケーション

半導体プロセスにおける圧力測定
工業用コーティング
低真空から超高真空までのシステムにおける一般的な真空測定と制御

仕様

測定範囲 (空気, O₂, CO, N₂)	5 × 10^-10 … 1000 mbar

精度
1 × 10^-8 … 1 x 10^-2 mbar	読み値の ±15%
100 … 1000 mbar	±50%

再現性	読み値の 5%, 10^-8 … 10^-2 mbar (10分安定後）

真空にさらされる材料	ステンレス鋼、NiFe、ニッケルめっき、ハステロイ、ガラス、イリジウム、酸化イットリウム（Y2O3）、Ni、タングステン