ホットイオンゲージ
Trigon® BAG552
中真空～超高真空対応シングルゲージ
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VacXplor® Software
VacXplor は当社のモジュール式ユーザーソフトウェアで、INFICON Trigon ゲージでの経験を向上させるためにデザインされています。VacXplor は統一されたインターフェース、ダイナミックなデータ視覚化、高度なカスタマイズオプションを提供し、インストールに管理者権限を必要としません。
利点
- 超高真空～高真空の広範囲に対応する純粋なベイヤードアルパート測定システム
- ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
- ガルバニック絶縁エレクトロニクスによる迷走電流の回避
- エミッション・ストリーム切り替え時の圧力ジャンプやフリーズを防ぐスライディング・エミッション・モード
- 取り外し可能な校正データチップによる拡張ベーク性
- セットポイントリレー
- ユーザーインターフェースを備えた明るく大きなOLEDディスプレイ（90°回転可能)
- アナログ出力、RS232Cシリアルインターフェース、EtherCAT®対応
- VGC50xコントローラシリーズと併用可能
- RoHS対応
標準的なアプリケーション
- 半導体プロセスにおける圧力測定
- 工業用コーティング
- 高真空から超高真空領域のシステムにおける一般的な真空測定と制御
仕様
| 測定範囲 (空気, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar |
| 精度 | |
| 1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar | 読み値の ±15% |
| 再現性 | 読み値の 5%, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (10分安定後） |
| 真空にさらされる材料 | ステンレス鋼、NiFe、ニッケルめっき、ハステロイ、ガラス、イリジウム、酸化イットリウム（Y2O3）、Ni、タングステン |
品番
スペアパーツ
| 品番 | 商品説明 |
| 352-420 | BAG552 交換用センサーヘッド、 25KF |
| 352-421 | BAG552 交換用センサーヘッド、 40CF |
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取扱説明書
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Trigon 15DSUB,2SP,OLED,25KF
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Trigon 15DSUB,2SP,OLED,40CF-R
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Trigon 15DSUB,2SP,25KF
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Trigon 15DSUB,2SP,40CF-R
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Trigon 15DSUB,2SP,OLED,E-CAT,25KF
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Trigon 15DSUB,2SP,OLED,E-CAT,40CF-R
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Trigon 15DSUB,2SP,E-CAT,40CF-R
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Trigon 15DSUB,2SP,E-CAT,25KF
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