ピラニゲージ
INFICONは、幅広い圧力範囲にわたって信頼性の高い真空計測ができるよう設計された、非常に正確なピラニゲージを提供しています。これらのピラニゲージは精密さと耐久性を兼ね備えており、産業および研究用途に最適です。
結果を得るには、フィルタをリセットしてください。
ATM To Medium Vacuum Gauge - High volume standard applications
- 操作が簡単な押しボタン式ATMおよびHV調整
- コンパクトで堅牢な設計
- アルミハウジング
- 取付け方向が自在
Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.
- Available with Tungsten (PSG550) or Nickel (PSG552) filament or with a fully ceramic coated (PSG554) sensor unit for highly corrosive applications
- Optional display, setpoints and digital interfaces
- Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- Easy to exchange plug & play sensor element with on-board calibration data - guarantees high reproducibility and low cost of ownership
INFICONピラニゲージ強化型300 (PGE300)は、上位バージョンのPGE500と同じく、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
- ディスプレイ内蔵、1セットポイント、および3種類の選択可能なアナログ出力信号を特徴とする、オールインワンアクティブゲージ
- ユーザーフレンドリーな方法で較正と操作を行える、明るいデジタルLEDディスプレイ
- 3種類のオプションアナログ出力信号(ユーザー選択可能)
INFICONピラニゲージ強化型500 (PGE500)は、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
- ディスプレイ内蔵、2セットポイント、4種類のアナログ出力信号、および2系統のデジタルインターフェースを特徴とする、オールインワンアクティブゲージ
- 明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドがあり、セットアップ、較正、操作が容易です。
- 4種類のオプションアナログ出力信号(3種類はユーザー選択可能、1種類はデフォルト)
INFICONのピラニゲージ強化型（PGE）DeviceNetバージョンは、市場で入手可能な最新のデジタル対流強化型ピラニ技術を搭載しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、大気圧付近での広い測定範囲と高い精度を実現
- 内蔵ディスプレイ、2つのセットポイント、デジタルDeviceNetインターフェースを
- 備えたオールインワンのアクティブゲージ
INFICONピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ（PCG55x）は、特許取得のINFICONセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニゲージの利点をひとつに統合した製品です。
- 10 mbar以下のガス種非依存性 – あらゆる混合ガスに安全なベントを行います
- 大気圧で高い精度と再現性 – 信頼できる大気圧検知
- さまざまな方向で取り付け可能 ; ツール設計における開発の自由度が向上
- 腐食が起こりやすいアプリケーションに対し、タングステン（PCG550）、ニッケル（PCG552）フィラメントまたは完全セラミックコーティング（PCG554）センサーユニットが選択可能
新しいINFICONのピラニ・ピエゾコンビネーションゲージ（PPG550）は、最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づくものです。
- 2mbar以上でガス種に依存せず、あらゆる混合ガスで安全なベントが可能
- 大気圧での高い精度と再現性 信頼性の高い高速な大気圧検出
- マウント方向が多彩で、
- ツール設計に自由度を提供
新しいINFICON Pirani Piezoコンビネーションゲージ（PPG570）は、入手可能な最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づいており、これは当社のPPG550 "ATM to Medium Vacuum" ゲージでも使用されています。
- 2mbar以上のガス種に対応 - あらゆる混合ガスで安全なベントが可能
- 大気圧での高精度と再現性 - 信頼性の高い高速大気圧検出
- 大気圧周囲圧測定
VGC083およびVGC031用の対流強化パッシブ・ピラニ・ゲージ
- 対流強化型ピラニ・テクノロジーにより、広い測定範囲と大気近傍での高精度を実現
- 金メッキタングステンフィラメント
- 機械的衝撃や振動の影響を受けにくい堅牢な構造
- 豊富なフランジオプション
VGC094用ピラーニ・パッシブ・ゲージ・ヘッド
- エラストマー（PSG010）または金属シール（PSG017、PSG018）設計
- 高い測定精度と再現性
- 100 °C (PSG010) / 250 °C (PSG017, PSG018) までのベークアウト温度
- 106Gyまでの耐電離放射線性（PSG017、PSG018）