1. 回転式フィードスルー
真空フィードスルー

回転式フィードスルー

Rotary-Feedthroughs-CF
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INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。

利用可能なフランジデザインISO-KF/ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar•l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。

利点

  • シール済みベロー
  • オールメタルバージョン
  • 非常に困難な真空の必要条件を満たすために
  • 2011/65/EU RoHS 準拠

仕様

FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
真空接続 DN16 ISO-CF-F
フィードスルー/シール ベローズ
シャフト接続mm4
トルク伝達
ダイナミックNm0.4 
ダイナミック、300 °CNm0.2
静電気Nm0.2
回転速度rpm200
最大トルクrpm­─
シャフトロード真空側
半径方向力N10
軸方向力N5
サービスライフ回転数1'000'000
目盛分割度10
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
使用温度°C300
ベークアウト温度°C300
接ガス材料 ステンレススチール 304L/1.4306, 
ステンレススチール 304/1.4301, 
–/2.4360

重量

 

kg0.3
真空接続 DN40 ISO-CF-F
フィードスルー/シール ベローズ
シャフト接続mm8
トルク伝達 
ダイナミックNm4 
ダイナミック、300 °CNm2
静電気Nm3
回転速度rpm1000
最大トルクrpm500­
シャフトロード真空側 
半径方向力N60
軸方向力N20
サービスライフ回転数2'000'000
目盛分割度─
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
使用温度°C300
ベークアウト温度°C300
接ガス材料 ステンレススチール 304L/1.4306, 
ステンレススチール 304/1.4301

重量

 

kg1.5
真空接続 DN40 ISO-CF-F
フィードスルー/シール ベローズ
シャフト接続mm12
トルク伝達 
ダイナミックNm10 
ダイナミック、300 °CNm2
静電気Nm5
回転速度rpm500
最大トルクrpm300­
シャフトロード真空側 
半径方向力N100
軸方向力N30
サービスライフ回転数1'000'000
目盛分割度─
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
使用温度°C300
ベークアウト温度°C300
接ガス材料 ステンレススチール 304L/1.4306, 
ステンレススチール 304/1.4301, 
ステンレススチール 303/1.4305

重量

 

kg3.0
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

品番商品説明
214-310Rotary feedthrough, FRU016-H, DN16 ISO-CF-F
214-312Rotary feedthrough, FRU040-N, DN40 ISO-CF-F
214-314Rotary feedthrough, FRU040-L, DN40 ISO-CF-F
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